포토마스크 제조업체 피케이엘(대표 정수홍 http://www.pkl.co.kr)은 최근 포토마스크 세정장비 PMC2000D가 유럽연합 위생·안전·환경보호 제조지침(CE)과 국제반도체장비재료협회(SEMI)의 인증을 획득했다고 15일 밝혔다.
피케이엘은 이번 CE와 SEMI 인증을 계기로 포토마스크 세정장비의 유럽·미국 진출에 탄력을 받을 것으로 기대하고 있다.
PMC2000D는 0.13미크론(1㎛은 100만분의 1m) 이상의 미세오염물질을 완벽하게 제거할 수 있으며, 밀폐형으로 돼 있어 공정 진행중 작업자로부터의 오염을 방지하는 것이 특징이다.
또 고희석(high dilution)을 가능하게 하는 SC-1 및 IPA 드라이 프로세스를 하나의 반응조에서 실시해 첨단공정에 적합하다고 회사측은 밝혔다.
피케이엘 관계자는 “드라이에처 장비도 9월중 CE·SEMI 인증을 획득할 계획”이라고 말했다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>