우리나라는 물론 미국과 핀란드, 일본 등 20여개국에서 200여명의 전문가들이 대거 참석한 ‘원자층증착(ALD) 2002 콘퍼런스’가 19일 한양대에서 개막됐다. 미국 이외의 국가에서는 처음으로 열리는 이번 행사는 최근 ALD기술 구현의 핵심 소재로 관심을 모으고 있는 고유전(high-k) 물질에 관한 연구 논문이 집중 소개될 예정이다. 개막 첫날 행사에 참석한 각국의 전문가들이 진지한 표정으로 논문발표에 귀기울이고 있다.
<이상학기자 leesh@etnews.co.kr>