에스엔유프리시젼(대표 박희재 http://www.snuprecision.com)은 빛의 간섭현상을 이용, 멤스(MEMS)·반도체·미세소자 등의 3차원 형상을 정밀하게 측정하는 3차원 미세형상 측정장비(모델명 SIS-1000)를 선보인다.
이 장비는 BLU·FLU 등 액정표시장치(LCD) 부품과 컬러필터의 형상 측정에도 사용이 가능, 응용범위가 넓은 게 장점이다.
특히 독자기술로 개발한 알고리듬을 탑재함으로써 미세부품에 덮인 투명한 박막 두께에 영향을 받지 않고 정확하게 본래의 형상을 측정할 수 있다. 기존 측정기들은 박막 두께를 포함해 측정, 형상값이 들쭉날쭉한 단점이 있었다고 회사측은 설명했다.
이 회사는 또 2차원 시각 검사장비, 이송기기 오차측정 장비, LCD 검사장비 등을 개발해 이번 광전시회에 출품한다.
이 회사는 이러한 첨단 검사장비의 제조 기술력을 바탕으로 최근 원자력 현미경을 개발함으로써 초정밀 형상 측정장비업체로 그 기술력을 국내외에서 인정받고 있다.
지난 98년 정밀 계측 시스템 제조와 초정밀 기계 시스템 설계 및 제조 등을 주요 사업내용으로 서울대학교 1호 벤처로 창업한 이 회사는 제조업의 기반을 다지기 위해 지난 5월 광학기기 업체 한라업티칼엔지니어링과 합병한 바 있다.