산업용 가스감지기 업체 GDS엔지니어링(대표 신상용·배정일 http://www.gdse.co.kr)은 반도체공정에서 사용되는 유해가스 5종을 인식하는 멀티형 가스감지기(모델명 GDS-3000)를 개발했다고 18일 발표했다.
이 제품은 반도체공정에서 사용되는 포스핀, 염화수소, 염소, 실렌 등 독성가스의 농도를 한꺼번에 측정할 수 있으며 강제흡기 시스템을 갖춰 공기 속 미량의 가스도 조기에 감지할 수 있는 게 특징이다.
또 화재시 발생되는 미세연기의 입자도 감지할 수 있어 초고감도 화재경보기능도 수행한다.
GDS엔지니어링은 이 제품이 여러 종류의 가스감지기를 반도체 공정내에 중복 설치하는 비용을 줄이고 외산 가스감지기에 비해 가격도 절반 수준에 불과해 좋은 반응이 예상된다고 밝혔다.
<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>