신성이엔지(대표 김주헌 http://www.shinsung.co.kr)는 한국DNS에 12억원 규모의 300㎜ 웨이퍼 폽오프너를 공급하기로 했다고 12일 밝혔다.
한국DNS는 자사의 300㎜ 반도체 제조장비에 폽오프너를 장착해 삼성전자 12라인에 공급할 예정이다.
폽오프너는 이송된 웨이퍼를 각종 반도체장비 넣어주고 해당 공정이 마무리되면 웨이퍼를 다시 꺼내주는 자동화장비로 불순물의 침입을 완전히 차단하는 기능을 제공한다.
신성이엔지의 300㎜ 웨이퍼용 폽오프너가 반도체 양산라인에 적용되는 것은 이번이 처음인데 반도체 제조업계의 300㎜ 투자확대에 힘입어 수요처 다변화가 가능할 전망이다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>