삼성전자(대표 윤종용)는 네덜란드의 반도체장비 제조업체인 ASML과 기술도입에 관련한 글로벌 라이선스 협약을 맺었다고 28일 밝혔다.
삼성전자가 ASML로부터 도입하는 기술은 반도체 노광공정에서 웨이퍼상의 회로 형상화 효율 및 반도체 수율을 개선할 수 있는 ‘스캐터링 바(scattering bar)’ 기술로 향후 삼성전자의 국내외 반도체 공장에서 사용하게 된다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
삼성전자(대표 윤종용)는 네덜란드의 반도체장비 제조업체인 ASML과 기술도입에 관련한 글로벌 라이선스 협약을 맺었다고 28일 밝혔다.
삼성전자가 ASML로부터 도입하는 기술은 반도체 노광공정에서 웨이퍼상의 회로 형상화 효율 및 반도체 수율을 개선할 수 있는 ‘스캐터링 바(scattering bar)’ 기술로 향후 삼성전자의 국내외 반도체 공장에서 사용하게 된다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>