후지쯔·도시바·오키전기 등 일부 일본 반도체업체들이 지난 26일 발생한 강진으로 인해 이와테현과 미야기현에 위치한 생산설비의 조업을 정지했다고 니혼게이자이신문이 28일 보도했다.
후지쯔는 “이와테 공장의 순수제조장치 등 일부 설비가 파손돼 가동을 중지했다”며 “재가동 여부는 1∼2일 더 지켜봐야 할 것”이라고 밝혔다.
도시바와 미국 앰코테크놀로지 합작사인 이와테도시바일렉트로닉스도 조업이 정지됐다. 앰코테크놀로지도 보도자료를 통해 “도시바의 웨이퍼 생산설비가 가동이 중단돼 약 2주간 생산차질이 불가피하며 2분기 매출이 500만∼1000만달러 줄어들게 될 것”이라고 밝혔다.
오키전기공업은 “자회사인 미야기오키전기가 지진 피해를 입어 반도체 웨이퍼 열처리설비 일부가 파손됐다”며 “완전 복구까지 최소한 4∼5일은 걸릴 것”이라고 밝혔다.
그러나 이 신문은 3개 업체 모두 정확한 파손 피해액에 대해서 밝히지 않고 있다고 덧붙였다. 한편 지난 26일 오후 6시 24분경 일본 이와테현과 미야기현 등 동북지방에 최근 3년 만에 최대 규모인 리히터 규모 7의 강진이 발생해 부상자와 재산피해가 속출했다.
<성호철기자 hcsung@etnews.co.kr>