에스티아이(대표 노승민 htttp://www.stinc.co.kr)가 국내 최초로 차세대 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)용 현상 및 세정장비를 개발했다.
이 회사는 24일 경기도 안성기술연구소에서 차세대 TFT LCD용 현상 및 세정장비 제품발표회를 개최하고 2년에 걸쳐 총 12억원을 투입해 세정장비 개발에 성공했으며 LG필립스LCD 등 LCD 제조업체에 장비 납품을 위한 영업 및 마케팅 활동을 강화할 방침이라고 밝혔다.
이번에 개발된 장비는 일본 등 해외 업체가 개발한 장비에 비해 크기가 60% 가량 줄어든 콤팩트(compact) 타입으로 세정 및 현상에 쓰이는 화학약액 사용량을 50% 가량 절감할 수 있는 것이 특징이다. 노승민 사장은 “차세대 LCD 장비의 경우 유리기판 크기가 커지면서 장비도 덩달아 커져 클린룸 시설 공사 등 많은 부대비용이 늘어날 것으로 예상된다”며 “이번에 개발한 제품은 이를 최대한 고려했으며 화학약액 사용량이 줄어들면서 생산성이 크게 향상될 것”이라고 말했다.
또한 이 장비는 유리기판 대면적화에 따른 이물질(파티클) 발생을 최소화하기 위해 자석과 공기를 주입한 비접촉식 반송기술이 도입됐으며 향후 7세대까지 대응 가능한 브러시 기술도 처음 적용됐다.
이 회사는 이 장비에 도입된 핵심기술과 관련, 8개의 특허를 출원한 상태다.
노 사장은 “현재 6세대 1개 라인의 경우 세정장비 시장규모가 700억∼900억원으로 추정된다”며 “첨단 장비를 국산화함에 따른 수입대체 효과가 상당히 클 것”이라고 덧붙였다.
<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>