스퍼터링 타깃 본딩 분야의 세계 톱 업체인 일본테크노화인(대표 우에노 준)은 총 12억원을 투입, 최근 경기도 평택시에 위치한 외국 전용공단인 추팔산업단지내에 한국공장인 한국테크노화인을 준공했다.
스퍼터링 타깃 본딩은 반도체·LCD·PDP·컬러필터 등의 박막 형성 공정에 중요한 기초 재료로 스퍼터링 방법을 채용한 박막을 형성하는 성막재료인 타깃재와 전극판·냉각판 기능을 겸비한 베이킹 플레이트를 접합하는 기술 및 제품이다.
테크노파인이 보유하고 있는 스퍼터링 타깃 본딩은 자체 개발한 본딩 재료를 사용한 액상확산접합 기술로 다양한 디스플레이 제품에서 요구되는 타깃 접합이 가능하며 재질·사이즈·형상에 제한없이 고 품질의 접합을 유지하는 것이 특징이다.
한국테크노화인은 7월부터 2개 라인을 통해 5세대 LCD용 스퍼터링 타깃을 월 120매 생산해 전량 국내 LCD 업체에 공급할 계획이며, 내년 1월부터는 현재 수준의 4배 이상 생산량인 월 480매 규모로 증설해 국내 LCD 시장의 50% 이상을 공급한다는 계획이다.
한국테크노화인 평택공장은 현재 양산되고 있는 5세대 LCD는 물론 제6세대, 제7세대 사이즈에도 대응할 수 있도록 설비를 구비했다. 일본 테크노화인은 82년 가나가와현에서 설립된 스퍼터링 타깃 본딩 전문 업체로 현재 일본공장을 통해 한국·대만·일본 등 LCD 업체에 대형 타깃 제품을 공급하고 있다.
<유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr>