불소(F2)가 삼불화질소(NF3), 불화유황(SF6), 불화탄소(CF4) 등 지구 온난화를 유발하는 PFC(perfluorocarbon)계 특수가스를 대체할 최적의 차세대 환경친화 물질로 불소계 가스가 부상함에 따라 불소발생장비(F2제너레이터) 개발 경쟁이 뜨겁다.
F2제너레이터는 LCD, 반도체에 모두 쓰여 시장의 60% 이상이 한국에 집중돼 있으며 향후 대만, 중국, 일본으로의 수출이 가능해 기존 특수가스 및 가스장비 시장을 재편할 수 있는 최대 변수로 떠오르고 있으며 국내 업계는 이로 인해 세계적 수준으로 도약할 계기를 맞았다는 평가다.
9일 관련 업계에 따르면 성원에드워드, 아토 등 국내 장비 업체들과 어플라이드머터리얼스, 도쿄일렉트론 등 세계적인 장비 업체들은 F2제너레이터의 개발, 상용화에 적극 나서고 있다.
성원에드워드(대표 김중조)는 최근 천안에 ‘온사이트형 불소 발생장비’ 양산을 위한 공장의 기공식을 가졌다. 지금까지 F2발생장비는 소량 주문제작 방식이었으나 성원에드워드는 본사인 BOC에드워드가 총 30억달러를 투자하고 핵심 기술 일체를 이전해 다음 달 공장을 완공, 월 26대 규모로 양산할 예정이다. 김중조 사장은 “향후 추가 투자를 단행해 대만, 일본, 중국 등 아시아 공략의 거점으로 삼는다는 목표로 양산 공장을 세계 최초로 건설하게 됐다.”고 말했다.
아토(대표 문상영)도 최근 생기원과 공동으로 불소발생장치 및 불소계 혼합가스 개발에 대한 협약을 채결하고 F2제너레이터 자체 개발에 나섰다. 삼성전자가 참여하는 이번 협약으로 아토는 3년 이내 총 60억원을 투자해 불소 발생장치 기술, 불소 세정용 화학기상증착(CVD) 장비, 불소계 혼합가스 등을 공동 개발할 계획이다. 이 회사는 이르면 올해 안으로 독자 개발한 시제품을 선보인다는 목표다.
또 어플라이드머터리얼스, 도쿄일렉트론 등 선두 장비 업체들도 F2제너레이터에 깊은 관심을 가지고 개발에 뛰어들고 있어 이 시장은 한층 가열될 것으로 보인다.
이에 대해 업계 관계자는 “반도체 세정에 쓰이는 기존 가스를 향후 고순도 불소가스로 대체해 수입에 크게 의존하는 특수가스를 대체하고 생산성 향상 및 환경보호 효과를 기대할 수 있어 이와 같은 개발 경쟁은 산업 파장이 클 것”이라고 말했다.
한편 지난 99년 세계반도체협의회(WSC)가 지구온난화물질로 규정된 반도체 세정용 PFC 가스 사용을 오는 2010년까지 1997년 수준의 10% 이내로 감축키로 합의한 바 있다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>