관련 통계자료 다운로드 국내 반도체 전공정·플라즈마 설비 시장 동향
사진; 에스이플라즈마에서 개발한 대면적 LCD용 대기압 플라즈마 세정장비. 대기압 플라즈마 기술을 응용, 별도의 진공장치가 필요하지 않고 별도의 화학유제가 필요하지 않아 환경 친화적이며 장비의 운용 및 유지보수 비용이 절감되는 것이 특징이다.
플라즈마 소스와 관련한 기술력이 부족한 국내업계도 플라즈마를 응용한 식각 및 증착장비의 국산화에 나서고 있다.
25일 관련 업계에 따르면 저온 및 대기압 플라즈마를 응용한 제조 공정이 반도체, 디스플레이 분야에서 자동차, 항공, 의료, 환경까지 응용됨에 따라 관련 업체들이 플라즈마 공정을 응용한 장비 및 부품 개발에 열을 올리고 있다.
에스이플라즈마(대표 이상로 http://www.seplasma.com)는 국내 최초로 LCD, PDP, 유기EL 등 디스플레이 기판 유리 표면을 세정할 수 있는 대기압 플라즈마 장비를 개발했다.
이 회사가 개발한 플라즈마 장비는 진공 장치를 따로 설치해야 하는 기존 저온 플라즈마가 아니라 대기압에서 모든 공정이 진행돼 시스템의 제작, 유지, 보수비용을 대폭 절감시키는 효과가 있다.
이상로 사장은 “약 20억원을 투입, 세계 최초로 기판손상을 해결한 1200mm급 LCD 글라스 세정장비를 개발, 국내 L사와 공급계약을 체결했고 폴리머, 세라믹 등 재료 표면처리 장비도 개발 완료단계에 있다”며 “플라즈마 장비 국산화에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 초단파 병렬 공명안테나를 장착한 플라즈마 식각장비를 개발하고 특허도 취득했다.
이 회사 이영곤 전무는 “현재 신뢰도 확보와 장비관련 데이터를 해석하고 있으며 모 소자업체에 이미 공급, 최종 테스트 작업 중”이라며 “결과가 나오는 대로 본격 사업화에 착수할 것”이라고 말했다.
아이티엠파워(대표 김윤택 http://www.itminc.co.kr)는 LCD 세정 장비용 플라즈마 전원장치를 개발, 현재 장비 업체에 공급하고 있으며 차세대 장비도 소자 업체와 공동개발 중이다.
이에 대해 성대플라즈마응용표면기술연구센터의 배운현 실장은 “국내 장비업계는 독자적인 플라즈마 소스 기술이 없으며 몇 업체를 제외하고 독자 연구설비 및 인력이 부족, 선진국 수준을 따라가기에는 어려움이 있다”며 “그러나 관련 연구가 활발한 만큼 개발 속도는 빨라질 것으로 예상한다”고 말했다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>