미국 위스콘신대 동문연구재단(WARF)이 지난 30일 반도체 일부 공정과 관련 삼성전자를 대상으로 특허 침해 소송을 제기했다고 블룸버그가 5일 보도했다.
보도에 따르면 WARF는 전도성 금속이 반도체 재료인 실리콘에 침투하는 것을 막는 특허 기술을 삼성전자가 침해, 이에 대한 로열티를 지급해야 하다는 내용을 골자로 한 소장을 메디슨 연방법원에 제출했다.
삼성전자측은 이와 관련 “WARF가 자사를 상대로 특허 침해 소송을 제기한 것은 사실로 확인됐다”며 그러나 “WARF측 주장처럼 특허 기술을 침해한 적이 없고 이번 제소 건에 대해선 적절하게 대응하겠다”고 말했다.
삼성전자측은 또 WARF 특허 기술은 급속한 기술 발전으로 반도체 공정에선 중요도가 미미할 뿐더러 현재 거의 사용하지 않는 오래된 기술로 알고 있다”고 덧붙였다.
이에 앞서 인피니온측은 지난달 WARF를 상대로 해당 특허 사용 대가로 로열티를 지급할 필요가 없다는 요지의 소송을 제기한 바 있다.
<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>