반도체 및 LCD 전공정장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 하이닉스반도체와 원자층증착장치(ALD·제품명 사이클론) 2대의 추가 공급계약을 체결했다고 4일 밝혔다.
이번에 계약을 체결한 장비는 올해 주성이 하이닉스 양산라인에 이미 공급한 4대의 ALD와 동일한 200밀리용 장비로 한 체임버 내에서 4장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 2개의 체임버로 구성돼 있다. 이 장비는 2분기 중에 하이닉스 양산라인에 설치될 예정이다.
이번 추가 수주로 주성은 8대의 ALD 장치를 포함, 올들어 총 11대의 반도체 장치를 수주했다.
<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>