반도체·LCD 생산 공정에 고성능 필터사업에 국내업체들이 잇따라 진출하고 있다.
이는 환경규제가 강화되고 고집적화가 요구되면서 이에대한 수요가 급증하고 있기 때문이다.
4일 관련 업계에 따르면 기존 필터 업체는 물론 섬유·화섬 업체들도 반도체·LCD 공정에 쓰이는 미세 필터 시장에 속속 뛰어들고 있다. 이들은 공정의 고집적화에 대응, 미세 입자의 유입을 막고 식각 공정 등에서 발생하는 유해 가스를 흡착·제거하는 등의 기능을 하는 고성능 필터 분야를 유망 사업으로 보고 역량을 강화하고 있다.
카엘(대표 이후근), 한국캠브리지필터(대표 서은태), 크린에어테크놀로지(대표 박형중) 등 필터 업체들도 반도체 식각 과정에서 발생하는 암모니아·오존 등 유해 가스를 제거하는 화학필터로 영역을 확대하고 있다. 이들 업체들은 삼성전자·하이닉스 등 주요 반도체·LCD 업체들에 납품, 국산화율을 높이고 있다. 특히 미세 공정의 도입으로 반도체 업체들의 요구가 까다로와지면서 이에 대응한 정밀 필터의 개발에 박차를 가하고 있다.
은성코퍼레이션(대표 이영규)은 초극세사 생산 기술을 바탕으로 나노 필터 사업 진출을 추진 중이다. 이 회사는 나노 소재를 응용한 클린룸용 에어필터를 개발, 반도체 및 LCD 분야의 신규 시장을 개척한다는 계획이다. 이 회사는 현재 클린룸 청소용 소모품인 초극세사 와이퍼 등을 생산하고 있다. 이 회사 한 관계자는 “초극세사 생산 및 클린룸 청정도 유지 기술 등을 보유하고 있다”며 “특히 필터의 원재료인 여재 생산 능력을 갖춘 것이 장점”이라고 말했다.
이에앞서 새한(대표 박광업)은 반도체 제조 공정에 쓰이는 초순수 제조용 역삼투필터의 국산화에 성공했다. 새한은 구미의 역삼투필터 생산 능력을 기존 4배인 800만㎡로 늘이는 등 필터 사업에 집중하고 있다.
한세희기자@전자신문, hahn@