반도체장비용 부품업체인 에스티에스(대표 서진천 http://www.stsol.com)는 반도체클러스터장치에 사용되는 핵심 부품인 6·8인치 겸용 레팅귤러 게이트 밸브(반도체 고진공 조절장치)의 국산화에 성공했다. 레팅귤러 게이트 밸브는 현재 일본·미국·스위스의 일부 부품업체만이 생산하고 있어 전량 수입에 의존해 온 부품으로, 수입 대체와 반도체 장비 국산화율 제고에 크게 기여할 것으로 기대된다.
에스티에스가 이번에 국산화에 성공한 6·8인치 겸용 레딩귤러 게이트 밸브는 전공정 로봇 및 프로세스 체임버 진공 차단에 필요한 부품으로, 웨이퍼를 체임버에 로딩·언로딩하는 관문역할을 수행해주는 컴포넌트다.
이 부품은 클러스터형으로 만들어지는 모든 장비에 필수적으로 들어가는 것으로 CVD, 에칭, 스퍼터장비 등 그 응용분야가 매우 넓다.
에스티에스는 지난 97년 창업 이래 진공장비 국산화에 주력해 온 업체로, 지금까지 20여종의 유틸리티 및 프로세스용 진공밸브를 개발, 국내 장비업체 및 소자업체에 공급하고 있다.
이 회사 서진천 사장은 “첨단장비용 밸브는 외국 선진기업들이 기술을 선점하고 있는 품목들이 대부분이어서 개발 과정에서 외국기업의 특허 공세 및 기술 보호 전략 등으로 많은 어려움을 겪었다.”며 “이제 이 분야에서 에스티에스도 경쟁력을 보유하기 시작한 만큼 미래시장에서의 경쟁력을 키워 나가기 위해 R&D 분야 투자를 확대하고 있다”고 말했다.
진공제어용 밸브류는 첨단 반도체장비 핵심 부품으로 국내 반도체산업 성장과 함께 수요가 크게 늘고 있으나, 국내 기술 수준이 낮아 정부 차원에서 국산화를 독려하는 품목이다.
반도체산업협회 관계자는 “세계 반도체 장치산업의 16%를 국내 반도체 소자 제조업체에서 소비하고 있으나 수백억원으로 추정되는 장비 및 연계 부속 부품은 거의 수입에 의존하고 있다”며 “협회와 정부는 부품 국산화율을 높이기 위해 국내에서 개발된 핵심 부품을 국내 소자·장비업체들이 적극 채용하도록 독려하는 등 국산화에 힘쓰고 있다”고 말했다. 문의 (031)217-2123
심규호기자@전자신문, khsim@
(사진은) 최초로 국산화에 성공한 6인치 8인치 혼용 레팅큘러 게이트 밸브 ‘RGB-8’