국가나노종합팹센터(NNFC, 소장 이희철)는 새솔다이아몬드공업(대표 맹주호)으로부터 ‘초정밀 화학적·기계적 나노공정 연마장비(CMP)’의 공정품질을 좌우하는 연마밀도 유지기 ‘패드 컨디셔너’를 무상 공급받기로 하는 협약을 체결했다고 20일 밝혔다.
이 패드 컨디셔너는 나노종합팹센터에 구축될 CMP의 연마밀도를 일정한 상태로 유지시켜 주는 기능을 하는 장비이다. 새솔다이아몬드는 삼성전자 및 하이닉스 등 국내·외 반도체회사와 거래하고 있는 반도체 장비 생산 중견기업이다. 이희철 소장은 “나노 관련 기술개발을 활성화하는 기폭제가 될 것”이라며 “기업과의 협력관계를 증진시키는 ‘물꼬’를 텃다는 의미가 있다”고 말했다.
대전=박희범기자@전자신문, hbpark@