◇이오테크닉스
반도체 레이저 마킹기기 시장의 45% 점유율을 점유하고 있는 이오테크닉스(대표 성규동 http://www.eotechnics.com)는 웨이퍼 레벨용 레이저마킹기, PCB 레이저드릴러, LCD 트리머 등 장비들이 초기 시장 진입에 성공함에 따라 다양한 사업을 전개하고 있다.
이 회사는 그동안 TI, NS 등에 납품해오던 웨이퍼 레벨용 레이저마킹기가 최근 대만 ASE, 유럽 필립스, 미국 플립칩인터내셔널로부터 납품 주문을 받으면서 시장 확대에 성공했다. 이오테크닉스는 웨이퍼 레벨 마킹 정밀도를 얻기 위해 필수적인 기술과 관련, 세계 특허를 보유하고 있어 향후 관련 시장에서 우위를 점할 것으로 기대된다.
이 회사는 이번 전시회에서 LCD 트리머 장비, LCD 레이저마커, PDP용 글라스 드릴링 장비 등을 전시한다. 이는 그동안 이오테크닉스가 반도체산업에 국한되었던 사업분야를 LCD 등 디스플레이 산업분야로 확장한 것을 보여준다.
그동안 휴대폰용 소형LCD 공정에서만 적용되던 LCD 트리머장비는 최근 노트북, LCD TV 등 중·대형 LCD에도 적용되고 있다. LCD 레이저마커는 LCD 셀의 고유번호를 레이저로 표시하는 비접촉식 장비로서 수입장비 대비 2∼3배의 생산성을 높일 수 있다. 또 레이저를 이용, PDP용 글라스에 미세한 구멍을 가공할 수 있는 글라스 드릴링 장비는 이번에 처음 공개된다.
이오테크닉스는 반도체용 레이저 마커부문, 웨이퍼 마커드릴러, LCD 트리머 등으로 사업영역을 넓힌 데 힘입어 상반기에 지난해 전체 매출액에 해당하는 328억원을 기록했으며 연말까지 700억원 이상의 매출이 예상된다.
◇ DE&T
DE&T(대표 박창현 http://www.i-det.com)는 반도체 및 평판디스플레이(FPD) 검사장비 전문업체로 미래산업에서 분사, 지난 2001년 설립됐다.
이 회사는 지난해 매출 223억원과 순이익 31억원을 기록, 매풀 2년 만에 안정적인 성장국면에 진입했다. 이 회사는 꾸준한 해외시장 개척으로 지난해 60억원 이상을 수출하기도 했다. DE&T는 수출 증대 등을 통해서 올해는 지난해에 비해 2배 이상 성장할 것으로 기대하고 있다.
DE&T는 TFT LCD 셀 검사장비인 셀 프로버 개발을 시작으로 유리기판 검사장비인 육안 및 현미경검사(Mac-Mic) 개발, PDP 검사장비인 PDP 프로버 개발 등 FPD 검사장비의 기술개발 및 국산화에 앞장서고 있다. 이 회사는 올해 TFT LCD 제조용 7세대 대형 유리기판을 검사하는 장비로 육안 검사(매크로 검사) 및 현미경 검사(마이크로 검사) 기능을 동시에 갖춘 모듈을 개발, KT마크를 획득했다.
DE&T는 반도체 및 FPD 장비 산업에 필요한 장비의 기술개발 및 국산화를 통해 국내 및 해외시장 점유율을 높여가 반도체 및 FPD 장비분야의 토털 솔루션 업체로 도약한다는 전략을 세웠다.
박창현 사장은 “산·학협력과 부설연구소의 기술개발 및 국산화에 힘입어 반도체 및 FPD 장비분야에서 경쟁력 있는 글로벌 기업으로 부상하고 있다”며 “도전적인 사고와 변화를 두려워하지 않는 개척정신으로 항상 준비하고 깨어 있는 회사가 되도록 최선을 다할 것”이 라고 말했다.
DE&T의 TFT LCD 셀 Mac-Mic 인스펙션 시스템
◇ 모니터포유
디스플레이 벤치마크 업체인 모니터포유(대표 신수근 http://www.monitor4u.com)는 고선명(HD)TV의 컬러 품질을 자동으로 계측하고 분석 및 보정해 주는 솔루션인 ‘크로마메이트(Xromamate V1.2)’ 국내 최초로 개발, 이번 전시회에 출품한다.
크로마메이트는 아날로그 RGB, DVI, CVBS, S 비디오, YPbPr/YCbCr 등 모니터나 TV와 관련된 다양한 영상신호를 자동으로 측정할 수 있다. 이 제품은 색채 관련 전문인력이 없더라도 색 온도, 감마, 계조선형성, 색 재현율, RGB 히스토그램과 같은 디스플레이의 주요 컬러 품질을 최신의 기법으로 분석해 준다.
모니터포유 관계자는 “이를 통해 인건비 절감과 업무 효율화를 이룰 수 있으며 제품 개발능력의 향상을 기대할 수 있다”고 말했다.
크로마메이트의 또 다른 강점은 데이터베이스를 무한대로 확장할 수 있다는 점이다. 이를 통해 이력 관리를 효율적으로 수행할 수 있을 뿐 아니라 다른 제품과의 비교를 통해 개발될 제품의 강·약점을 분석하고 개선방향을 도출할 수 있다. 품질관리 부서에서는 이 데이터베이스를 활용해 출하되는 제품의 샘플링 검사를 효율적으로 수행할 수도 있다.
이와 함께 크로마메이트에는 단순한 계측 및 분석기능뿐만 아니라 칼리브레이션 기능이 탑재됐다. 이로써 모니터나 TV 등 다양한 디스플레이 제품의 감마와 색 온도를 정교하게 바로잡을 수 있다. 이러한 기능은 제조사로 하여금 더욱 정확한 색재현력을 가진 디스플레이 제품을 개발할 수 있도록 지원한다.
크로마메이트의 프로페셔널 버전은 디스플레이 고유의 특성을 파악할 수 있는 기능과 256 그라데이션 품질이나 의료용 GSDF 표준과의 비교분석, 균일성 테스트, 시야각 측정, 휘도 안정화 평가 등의 고급기능도 포함돼 있다. 디스플레이 제조사나 관련 연구소, 대학교, 칼리브레이션 서비스 업체, 리뷰·벤치마킹 관련업체 등에서 다양하게 활용할 수 있다.
모니터포유가 자체 개발한 HDTV 컬러 분석·보정 솔루션 ‘크로마메이트’
◇ 선익시스템
선익시스템(대표 손명호·이응직 http://www.sunic.co.kr)은 이번 전시회에서 고휘도 및 대면적 디스플레이에 적합한 능동 구동 방식의 유기발광다이오드(OLED) 양산 증착 장비와 소자의 수명 향상과 박막형 봉지 공정에 적합한 고밀도 플라즈마 화학증착장비(CVD) 장비를 선보인다.
이 제품은 양산 공정 시간에 따라 두개 또는 세개의 클러스터 모듈로 구성된다. △기존 방식에 비해 플라즈마 밀도가 높고 기판에 손상이 적은 고밀도 플라즈마를 적용한 전처리 공정 △풀 컬러 소자 제작을 위한 3미크론 이하의 고정세의 마스크 정렬 공정 및 고정밀의 도핑 농도를 제어할 수 있는 유기물 증착 공정 △자동공급 장치가 부착된 금속막 증착 공정 △소자 수명을 향상시키기 위한 유기막 위에 보호막을 형성하는 CVD 공정 등이 연속 공정으로 자동 진행된다.
이 회사의 OLED 양산 증착 장비는 증착 공정 모델링을 바탕으로 개발된 전산모사 프로그램을 적용, 최적 크기의 챔버 및 증발원이 제작돼 양산에 적합한 증착 효율 및 박막 균일도를 확보하고 있다. 또 각 클러스터 모듈에 장착돼 있는 단위 챔버의 독립적인 제어 및 백업 기능을 강화, 연속적인 양산 공정에서 원활한 물류 흐름이 가능하도록 자동 제어 소프트웨어를 자체 개발, 적용했다.
이 회사의 주력 제품인 OLED 증착 장비는 뛰어난 성능과 양산성을 바탕으로 지난해 중국 SVA, 대만 옵토테크 및 프랑스 톰슨 등에 총 600만달러 정도를 수출했다. 올해는 국내 대기업에 양산 장비를 공급, 현재 패널을 시양산중에 있다.
선익시스템은 차세대 4세대급 대면적 OLED 증착 장비 개발을 위해 신개념의 인라인 장비를 개발중이다. 특히 작년부터 오는 2007년까지 총 118억원의 개발비가 투자되는 OLED 핵심 부품재료 개발 프로젝트 공동 주관사로 선정돼 선형 증착원을 개발하고 있다.
선익시스템의 능동 구동 방식 OLED 양산 증착 장비.
◇ SFA
SFA(대표 신은선 http://www.sfa.co.kr)는 지난 98년 삼성 계열사에서 분사해 설립된 공장자동화 전문업체다. 이 회사는 설립 초기 국제통화기금(IMF) 상황에서도 450여억원의 매출을 올렸으며 지난해에는 1445억원의 매출을 기록했다. 올해는 2500억원의 매출을 기대하고 있다.
SFA는 충남 아산에 대규모 생산기지를 증축하고 있다. 이 기지가 완성되면 향후 7·8세대의 장비에 대한 투자에 박차를 가할 계획이다.
SFA가 개발한 FPC 리페어 본더는 기존의 장비가 지니고 있던 문제점을 개선했다. 자동기능을 추가해 리페어 장비로서의 역할 이외에 하나의 생산설비로서 기능할 수 있게 했기 때문이다. 50인치 풀 고선명(HD) PDP에 대응 가능한 부착 정도를 갖추고 있어 향후 고정세화되는 PDP의 발전 방향에 대비한 것이 특징이다. SFA는 이 장비의 기술을 바탕으로 차세대 FPC 본딩 장비를 올해 말까지 개발할 계획이다.
회사 관계자는 “FPC 본딩 장비 개발은 그동안 일본업체의 독무대나 다름없던 시장에서 국산화 양산에 투입되면 연간 약500억원 이상의 수입대체 효과를 기대할 수 있다”고 말했다.
이 회사는 그동안 개발한 편광판 부착기, 칩리무버(Cullet Remover), 면취기(Edge Grinder), 실리콘디스펜서 등의 본딩 장비를 구축, 모듈 공정의 일괄 공급체계를 구축했다. 회사 측은 이를 통해 ‘일괄 수주’ 방식의 모듈 공정 수주가 용이하게 됐다고 강조했다.
SFA이 개발한 FPC 리페어 본더.
◇ 두산디앤디
두산그룹의 계열사인 두산디앤디(대표 명준식 http://www.doosandnd.com)는 지난 99년 설립된 디스플레이 장비 제조업체로 ‘기술력이 생명’이라는 창립 이념하에 기술 자립과 OLED 장비 국산화에 앞장서고 있다.
이 회사는 올해를 글로벌 기업 도약의 원년으로 삼기 위해 지난 2월 신공장 준공과 더불어 1000평 규모의 대형 클린룸 설비를 완공했다. 이를 바탕으로 더욱 탄탄한 조직력과 기술력 그리고 고품질의 제품생산으로 삼성전자 등 대기업 시장을 파고 들고 있다.
이 회사의 AMOLED 장비는 4세대 급으로(730×920㎜)으로 고분자 OLED 패널은 물론 저 분자 OLED 패널도 제작할 수 있다. 기술상의 이유로 활용이 어려웠던 패시베이션(OLED 칩 표면에 보호막을 씌우는 작업) 방식의 봉지 공정도 도입됐다.
이 장비에는 국내를 비롯한 특허협력조약(PCT)에 가입된 전세계 100여개국에 원천기술 특허를 출원한 바 있는 스트레칭 글라스 척 기술이 적용됐다. 스트레칭 글라스 척은 3세대 이상의 초대면적(550×670㎜) OLED 기판에 가장 큰 문제점으로 대두된 기판의 처짐 문제를 해결할 수 있도록 기술이며 두산디앤디가 세계 최초로 개발했다.
OLED 증착 장비로 상용화된 사이즈는 370×470㎜가 최대 사이즈며 두산디앤디가 개발한 장비가 현존하는 최대 사이즈 생산장비로 꼽힌다.
두산디앤디는 OLED장비업체인 DR진공을 인수, OLED 증착 장비에 뛰어들었으며 이번 제품 개발을 계기로, 국내는 물론 대만, 중국 등 해외 관련업체에 기술 및 장비공급을 추진중이다. 이 회사는 4세대 장비뿐만 아니라 2세대 장비도 제작, 납품하고 있다.
두산디앤디의 인라인 크로스 OLED 장비.
김규태기자@전자신문, star@