◇주성엔지니어링
LCD 및 반도체 핵심 전공정장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 이번 전시회에 차세대 LCD용 PE CVD장치(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition : 플라즈마 증착장치 : 모델명 EUREKA 시스템)를 출품한다.
PECVD장치는 LCD 유리기판 표면상에 원하는 박막을 증착하는 장치. 그간 업계에서는 LCD 공정 세대가 높아질수록 유리기판의 크기가 1.5배 가까이 커져 막의 균일도 유지에 어려움을 겪어 왔다. 주성이 개발한 박막증착 장치는 플라즈마 기술을 적용해 균일한 막을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 생산성을 확보한 차세대 제품으로 각광받고 있다.
주성엔지니어링이 5세대 장치부터 적용하고 있는 ZIG ZAG 공정체임버의 경우 주성 고유의 특허 기술로 각각의 공정 체임버를 겹치도록 설계, 생산성 증대 및 장치 크기를 작게 유지하여 경쟁력을 확보한 것이 특징이다.
주성은 4세대 장치부터 7세대 장치까지 제품개발을 완료한 상태다. 최근 LCD용 PE CVD장치의 판매가 급신장하고 있어 지난해 3%에 불과했던 전세계 LCD용 CVD 시장점유율이 올해 15% 정도로 증가할 것으로 전망하고 있다.
1995년에 설립된 주성엔지니어링은 반도체 및 LCD공정의 핵심 전공정 장치인 화학증착장치(Chemical Vapor Deposition) 제품을 전문적으로 생산하는 회사로 현재 반도체 및 LCD 전공정과정의 20% 정도를 처리할 수 있는 다양한 제품을 개발, 우리나라는 물론 미국, 대만, 유럽, 일본 등지의 주요 반도체·LCD 회사에 대당 30억∼120억원의 장치를 판매하고 있다.
◇한국디엔에스
반도체 및 FPD 장비업체 한국디엔에스(대표 임종현 http://www.kdns.co.kr)는 이번 전시회에 세계 최초로 개발해 삼성전자 탕정 7라인에 공급한 7세대(기판사이즈 1870×2200㎜) TFT LCD용 에칭(식각)장비를 출품했다.
이 장비는 LCD 제조 공정에서 금속막이 증착된 기판글라스에 액정구동용 패턴(미세회로)을 형성하는 장비다.
FPD 부문 슬릿코터, 스핀디벨로퍼, 컬러 STN LCD 풀라인 제조설비, 인라인 에처 스트립퍼 등 7세대 장비 라인업 구축에 한창인 이 회사는 기판사이즈 대형화 추세에 맞춰 개발장비 양산에 돌입, 차세대 대형 기판사이즈 시장도 선점한다는 전략을 세워놓고 있다.
컬러 STN LCD 풀라인 제조설비는 FPD 원판글라스의 세정, 현상, 에칭, 박리 공정 장비로 설비구성이 자유롭고 레지스트 도포설비나 노광설비의 장착이 가능하다. TFT LCD 역시 7세대 이상의 대형 기판시장을 주도하고 있다.
인라인 에처스트리퍼는 7세대 박리설비로 LCD 제조에서 원판글라스 표면에 형성된 패턴(미세회로)을 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분을 화학약품 등으로 제거하는 식각공정(에칭)과 함께 남아 있는 포토레지스트(감광액) 잔류물을 초음파, 고압 스프레이 방식으로 제거하는 장비다.
올 매출액 2000억원을 목표로 하고 있는 이 회사는 국내업체 가운데 가장 먼저 300㎜ 반도체장비를 개발한 데 이어 앞으로 나노공정용 불화아르곤(ArF) 트랙장비, 7세대 LCD 핵심장비도 자체 개발해 토털 장비업체로 탈바꿈할 계획이다.
◇파이컴
파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.com)은 TFT LCD검사장치인 프로브유닛과 멤스유닛을 출품한다.
프로브 유닛은 프로버(LCD검사장비) 내에 장착되는 TFT LCD 검사장치. 패널의 소스 및 게이트 전극에 프로브 탐침을 접촉시켜 전기신호를 흘려보냄으로써 LCD패널의 적, 녹, 청색 표출 여부와 해상도 및 휘도 등을 검사한다. 7인치에서 52인치까지의 폭넓은 사양에 유연하게 대응할 수 있고, 기존의 다양한 종류의 프로버와 100% 호환이 가능한 장점이 있다.
이번 전시회에서는 MEMS기술을 이용한 새로운 개념의 LCD패널 검사장치, 멤스유닛도 함께 선보인다. 멤스유닛은 완성된 LCD패널에 영상신호와 전원을 보내어 패널의 불량여부를 가늠하는 장치로, 기존 수작업의 니들타입 검사장치인 프로브 유닛(60㎛피치까지 대응)에 비해 미세한 범위(30㎛피치)까지 검사가 가능하다. 내구성 및 안정성이 뛰어난 것도 장점이다.
LCD 및 반도체 검사장치 전문 제조업체인 파이컴은 올 상반기에만 322억원의 매출을 올려 작년 전체보다 150% 증가한 실적을 나타내며 급격한 실적 상승세를 보이고 있다. 1996년 7월 평창 하이테크산업으로 법인 전환, 2001년 파이컴으로 상호를 변경했다. 국내 최초로 멤스(MEMS)기술을 상용화한 업체로 주요제품으로는 반도체 웨이퍼 검사장치인 프로브카드, 멤스카드, LCD검사장치인 프로브 유닛, 멤스 유닛 등이 있다.
◇에이디피엔지니어링
에이디피엔지니어링(대표 허광호 http://www.adpeng.com)은 이번 IMID 전시회에 6세대 진공장비 드라이 에처(모델명 ADE-1850)와 드라이 에셔(모델명 APA-1850 ), 검사장비 등을 출품한다.
드라이 에처는 TFT 패널 글라스 위에 형성된 패턴을 따라 하부막을 제거하는 중요한 공정장비다. 대면적 상부전극에 의한 우수한 에칭 균일성과 단순한 내·외부 구조로 유지보수가 편리하며 짧은 공정진행시간으로 기존 장비보다 높은 생산성을 발휘하는 것이 특징이다.
드라이 에셔는 컬러필터 패턴에 남아 있는 불필요한 포토레지스트(감광액)를 제거하거나 포토레지스트 표면의 막특성 개선을 위한 장비다. 전시회에는 이밖에 결함 종류별 분류가 가능한 소프트웨어로 구성돼 사용자의 편의성을 향상시킨 TFT & 컬러필터 패턴 검사기와 작업자의 편리한 작업 공간 구현 및 검사광의 높은 조도를 구현한 매크로 검사기도 함께 출품된다.
이 회사는 TFT LCD 제조용 진공장비 및 검사장비 전문업체로서, 전량 수입에 의존하던 TFT LCD 제조용 드라이 에처 장비를 국내 최초로 자체 개발해 LG필립스LCD 구미 5세대 라인 납품을 시작으로 진공장비, 검사장비, FA장비, CCFL 등 국내외 고객사에 제작 공급하고 있다. 또 내년 3월 완공을 목표로 신사옥 건축 등 제2 도약을 위한 준비가 한창이다.
올해로 창립 3주년을 맞는 에이디피엔지니어링은 올해 매출 1055억원, 순이익 102억원을 바라보고 있을 정도로 LCD 장비업계에서 이미 중견 기업으로 자리잡았다. 현재 전체 직원의 63%가 연구개발 전문 (R&D) 인력으로 구성돼 있다. 최근에는 LG필립스LCD 파주 7세대 라인 구축에 따른 장비대응, 중국을 비롯한 대만 등 해외시장 공략에 박차를 가하고 있다.
◇케이씨텍
반도체 및 FPD 장비 전문기업인 케이씨텍(대표 고석태·권봉수 http://www.kctech.co.kr)은 이번 전시회에 LCD전공정 핵심장비인 웨트 이니셜 클리너를 기반으로 웨트 에처, 디벨로퍼, 스트리퍼를 비롯해 초청정 기술의 극저온 CO2 세정기 등을 주력제품으로 출품한다.
이 회사는 최근에는 신규분야인 팹 오토메이션 시스템 분야에 진출해 빠른 신장세를 보이고 있다. 최근에는 차세대 부품·소재 아이템인 슬러리(반도체부문 CMP용)쪽으로도 사업영역을 확대하는 등 점차 고부가가치 장비전문 기업으로 발전하고 있다.
케이씨텍 제품은 자동, 반자동, 수동 시스템의 주문 제작이 가능하다는 것이 특징이다. 특히 올해 들어 매출이 급신장하기 시작한 웨트 에처, 디벨로퍼, 스트리퍼 등의 장비는 국내 업체뿐만 아니라 대만과 중국 시장에서도 성장세를 보이는 제품이다. 특히 극저온 CO₂세정장치는 케이씨텍이 3년간의 연구를 수행해 2001년 개발에 성공한 친환경적인 건식 세정장치로 2001년 5월 직무발명경진대회에서 대통령상을 수상하면서 기술력을 인정받았다.
케이씨텍은 1987년 2월에 설립된 회사로 올 상반기에는 매출이 지난해 상반기 대비 133%나 증가하는 고속 성장을 구가하고 있다. 올해 제3공장을 준공해(클린룸 규모 3500평 보유) 첨단산업의 기반을 확고하게 구축한 것도 자랑할 만하다.
이 회사는 차세대 기술을 적극적으로 개발해 국내외 시장에서 토털 장비업체로 인정받겠다는 목표를 세워 놓고 있다.
◇케이이엔지
케이이엔지(대표 김동관 http://www.k-eng.co.kr)는 이번 전시회에 6세대 LCD용 카세트를 출품한다.
카세트는 LCD 제조 공정인 TFT, CF, 셀공정의 글라스공정 진행중에 장비와 장비간 이동이나 글라스 적재시 사용하는 글라스 이송 및 적재기구다.
이번에 출품하는 6세대용 카세트는 날로 커지는 글라스 크기에 대응하는 데 적합한 재질인 카본 소재의 CFRP(탄소섬유강화플라스틱:Carbon Fiber-Reinforced Plastics)를 혼용 사용하고 구조역학적인 정밀한 해석에 의거해 설계제작된 것이 특징이다.
케이이엔지는 이번 전시회에서 클린 크레인과 온고잉 릴라이어빌리티 테스터(ORT), 멀티 에이징 시스템(MAS), 카세트 클리너 등을 소개한다.
이 회사는 1999년 설립 후 꾸준한 성장을 이어 왔으며 LCD, 반도체 부문의 자동화 설비 등의 장비 국산화로 수입대체를 통한 비용절감에 기여해온 업체다. 반도체, LCD, PDP, 유기EL 분야의 장비 전문업체로 전량 수입에 의존하던 LCD용 카세트 건조기, LCD 애니록스 롤 세척 기계를 국내 최초로 국산화한 업체로 불린다.
케이이엔지는 올해 대만, 중국 등 해외시장을 적극 공략한다는 계획이다. 이 회사는 99년 설립 첫해 매출 8억5000만원을 시작으로 2001년 51억원, 2003년 249억원 등 연 100% 이상의 매출 급성장을 해오고 있다. 올해는 390억원을 매출 목표로 하고 있다. 올 10월 코스닥 등록 예정이다.
심규호기자@전자신문, khsim@