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국내 한 장비업체가 OLED 대형화에 적합한 새로운 방식의 OLED 증착장비를 개발, 수출에 나선다.
유기발광다이오드(OLED) 증착장비 전문업체인 에이엔에스(대표 배경빈 http://www.ansinc.co.kr)는 대만의 한 업체와 하향식 OLED 증착장비인 DSP( Digital Scanning Process)공급 계약을 체결하고 다음달 선적한다고 22일 밝혔다.
기존 OLED 증착장비는 유기증발원(소스)를 밑에 두고 이를 가열해 위에 매달려있는 유리에 유기물을 증착하는 방식이었으나 이러한 방식은 유리 사이즈가 커질 수록 유리 처짐으로 인해 균일도가 떨어지는 문제점이 발견돼 아직까지 2세대 급(370x470mm) 상용장비에 머물렀다.
이번에 수출하는 DSP는 기존의 포인트 소스를 사용한 상향식 증착장비와는 달리 유리기판과 메탈 셰도우 마스크를 바닥에 두고 위에서 아래로 유기물질 및 금속물질을 증착하는 방식으로 OLED 증착 장비의 개념을 바꿨다는 평가를 받고 있다. 이를 이용하면 유리기판과 메탈셰도우 마스크의 처짐이 없어 유리기판의 대면적화에 용이하고, 유기물질 사용효율이 기존장비대비 10배 이상 높다. 이전에는 유기 물질 증착 효율이 3%에 불과했으나 이를 이용하면 30%대로 끌어올릴 수 있게 된다. 에이엔에스는 산업자원부 산업기술개발사업(중기거점개발사업)의 하나로 2002년부터 개발을 진행해왔으며 OLED 증착장비의 핵심기술인 유기물 증발원, 금속 증발원 및 고정세 정렬기구등을 포함하여 25건의 특허를 국내 및 해외에 등록했다.
에이엔에스의 배경빈 사장은 “2세대 급 OLED 생산라인까지는 상향 증착장비로도 무리가 없었으나 그 이상의 세대로 넘어가면 많은 문제점이 발견돼 대형화에 어려움을 겪어왔다”며 “이 장비를 활용할 경우 4세대 이상의 라인 사이즈에서도 보다 쉽게 양산 라인을 구축할 수 있다”고 설명했다. 에이엔에스는 이 기술을 활용, 4세대 증착 장비를 개발중이며 해외 시장 개척에도 적극 나설 계획이다.
한편 독일의 장비업체인 액시트론이 최근 세계에서 처음으로 대만의 라이트디스플레이에 같은 하향식 증착장비인 OVPD (Organic Vapor Phase Deposition)를 공급한 바 있어 하향식 증착 장비가 OLED 대형화에 핵심 이슈로 부상할 전망이다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@