테크노세미켐(대표 정지완)이 평판디스플레이에 적용되는 여러 종류의 합금 적층막에 함께 사용할 수 있는 통합식각액(멀티에천트) 관련 특허를 취득했다고 31일 밝혔다.
이 특허는 평판디스플레이의 박막트랜지스터 형성을 위한 금속전극용 식각액 조성물 관련 특허로 TFT-LCD 및 OLED 등의 배선 형성 공정에 사용되는 몰리브데늄, 몰리브데늄 합금 및 알루미늄 합금의 적층막에 적용되는 식각제에 대한 발명이다. 특히 이 식각액은 여러 종류의 적층막을 동시에 식각할 수 있으며 게이트전극 및 데이터전극 모두에 적용할 수 있는 것이 특징이라고 회사측은 설명했다.
또 기존 알루미늄 식각액에 첨가제를 첨가, 몰리브데늄막이 다른 막을 뚫고 돌출하는 현상(오버행)이나 지나치게 빠른 식각 속도로 인한 비정상적 식각 특성을 개선시켰다. 이 회사 한 관계자는 “이 특허를 이용해 몰리브데늄·알루미늄의 적층막이 원하는 식각 특성을 갖도록 하는 것과 기타 제반 식각 특성에 부합하는 새로운 조성의 식각액 개발도 가능하다”고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@