삼성전자, LG필립스LCD 등에 LCD용 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD)를 공급하고 있는 AKT(미국 어플라이드 머티리얼즈의 자회사)는 최근 400번째 PE CVD 시스템을 출하하는 기록을 세웠다고 13일 밝혔다.
AKT의 PECVD 시스템은 AKT가 CVD 장비의 업계 리더 자리를 굳힌 대표적인 장비로 비정질 실리콘(a-Si; amorphous silicon), 실리콘산화막(SiOx; silicon oxide), 실리콘질산화막(SiON; silicon oxynitride), 실리콘질화막(SiNx; silicon nitride)의 다양한 단층·다중 필름을 증착할 수 있다.
AKT 측은 “AKT의 PE CVD시스템은 사실상 한국, 일본, 대만의 거의 모든 주요 LCD제조업체에 설치돼 있다”고 밝혔다.
AKT가 지난 2월 발표한 7세대용 장비는 1개의 기판 당 최고 8개의 40인치 TV 패널 또는, 최고 6개의 46인치 패널을 만들 수 있다. AKT는 이 장비를 세계 최초로 지난 7월 S-LCD의 7세대 라인에 공급한 바 있다.
한편, AKT의 400번째 PECVD 시스템은 5세대 AKT-15K PECVD로, TV용 LCD 제조용도로 중국 기업에 공급됐다고 회사 측은 밝혔다.
심규호기자@전자신문, khsim@