리니어모터업체 져스텍(대표 김용일 http://www.justek.co.kr)은 LCD 7세대 라인 용도의 대형 공기축받이(베어링) 스테이지를 최근 개발, 출시했다고 7일 밝혔다.
스테이지란 모터와 드라이버·헤드 등을 결합해 만든 장비의 반제품으로, 여기에 원하는 사양의 카메라 등을 장착해 장비를 완성한다.
져스텍이 이번에 개발한 공기 베어링 스테이지는 속도 리플이 40㎜/s의 속도를 냈을 때 0.1% 정도며, 정지 정밀도 또한 50nm(나노미터) 이내다. 공기베어링 스테이지이기 때문에 일반적인 스테이지 속도리플 0.5% 정도보다 안정적이다. 속도 리플과 정밀도는 장비의 안정성을 평가하는 잣대로, 얼마나 고정적인 속도를 출력하는가와 정밀한 위치에서 정확하게 정지해 있는가를 말한다. LCD 제조·검사 장비에 쓰이는 이 스테이지의 크기는 2.4×5.1㎜다.
져스텍 측은 “공기베어링 스테이지의 경우 마찰이 없기 때문에 정밀도가 높다”면서 “속도리플이 0.025% 정도까지 나올 수 있도록 개발중”이라고 밝혔다.
문보경기자@전자신문, okmun@
사진설명:져스텍이 개발한 LCD 7세대 라인용 공기베어링 스테이지.