XLT, 국내 첫 반도체 노광장치 핵심부품 개발

 국내 광산업체 XLT(대표 문해중)가 반도체 노광장치의 핵심부품인 LNK(Line Narrowing Kit) 개발에 성공했다고 12일 밝혔다.

 LNK는 초정밀 반도체 회로 제작시 레이저 빔을 쏘아주는 부품으로 지금까지 전량 수입에 의존해 왔다.

 특히 XLT의 제품은 기존 외국 제품보다 미세한 레이저 빔 주사를 할 수 있어 더 정교한 회로 제작이 가능, 성능·품질에서도 앞선 것으로 평가받고 있다.

 이 회사는 유수 반도체 업체 출신들을 주축으로 2002년 창업 후 LNK 개발에 몰두, 이번에 국산화의 개가를 올렸다.

 XLT는 내년 7월부터 LNK를 생산할 예정이며 매출은 2005년 14억원에서 2006년 160억원, 2008년 270억원에 달할 전망이다.

 또 이 회사는 유리기판·휴대폰 등 IT 및 광산업 제품에 레이저로 바코드나 글자 등을 인쇄하는 레이저 마킹 제품 매출까지 포함하면 연매출액은 2005년 17억원에서 2006년 246억원, 2008년에는 827억원까지 급성장할 것으로 기대하고 있다.

 반도체 생산공정에서 반도체에 초정밀 회로를 새기는 작업은 반도체 기판 위에 회로도가 그려진 필름을 얹어놓고 레이저 빛을 쏘면 회로도가 반도체에 인화되는 사진 인화방식으로 진행된다.

 한세희기자@전자신문, hahn@