한국무라가미(대표 아사누마 마코토)는 필름 형태의 감광제를 사용해 인덕터·저항 등 소형 칩 부품의 회로를 30∼40㎛의 선폭으로 형성할 수 있는 초정밀 스크린마스크 생산에 들어갔다고 13일 밝혔다.
한국무라가미의 스크린마스크는 감광 유제를 도포하는 대신 필름을 사용하는 직간법을 적용, 30∼40㎛의 미세 선폭을 균일하게 형성해 칩 부품의 전기적 특성을 향상시키고 생산 수율을 높여준다고 회사측은 설명했다.
이는 0603 크기의 소형 칩 부품 회로를 형성할 수 있는 수준이다.
또 마스크 주변부에 폴리에스테르 소재를 결합, 복원력을 높이고 치수를 안정화해 사용 수명을 늘인 것도 장점이다.
이 제품은 휴대폰·디지털 기기의 소형화·고집적화에 따라 수요가 늘고 있는 초소형 칩 부품 및 세라믹 패키지, 세라믹 필터, LTCC 등에 적용 가능하다.
한세희기자@전자신문, hahn@