플라즈마 전문 업체인 뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)가 300㎜ 웨이퍼용 애셔 장비를 개발, 반도체 공정 장비로 사업을 다각화한다.
이 회사는 기존 플라즈마 관련 기술을 바탕으로 반도체 애셔 장비를 개발, 플라즈마 소스 및 매칭 기기에서 반도체 공정 장비까지 RF 플라즈마 관련 종합 솔루션을 제공해 나갈 계획이라고 31일 밝혔다.
이번 개발된 애셔 장비는 뉴파워프라즈마의 ‘코어 ICP’ 기술을 활용한 플라즈마 기술로 감광제 제거 속도(ash rate)를 분당 12만회로 향상시켰다. 또 챔버를 복층으로 설계, 장비 크기를 절반 정도 수준으로 줄였다고 회사측은 설명했다. 플라즈마의 높낮이를 조절, 웨이퍼 손상을 줄이고 작업 효율을 높인 것도 특징이다.
뉴파워프라즈마는 올해 애셔 장비 분야를 친환경 세정기기인 리모트 플라즈마 제너레이터와 함께 주력 사업으로 육성, 작년 대비 100% 늘어난 160억원의 매출을 올린다는 목표다.
이를 통해 기존의 고주파(RF) 플라즈마 제너레이터 및 친환경 리모트 플라즈마 제너레이터 등 플라즈마 소스 및 기기 위주의 사업 구조를 고부가가치 공정 장비까지 확대, 플라즈마 관련 전문 업체의 입지를 굳힐 계획이다.
이 회사 최대규 사장은 “축적된 플라즈마 관련 기술을 기반으로 소형·고효율 애셔를 개발했으며 최근 반도체 생산업체에 관련 장비를 공급키로 하는 등 이미 가시적인 성과가 나타나고 있다”고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@