3차원 구조를 관찰할 수 있는 엘렉시스 ‘μ-3D 비주얼라이저’
엘렉시스(대표 조병희 http://www.elec-sys.com)는 이번 전시회에 FOX 등 나노포커스 기술을 채택한 X레이 반도체 검사 장비들을 출시한다. 또 평면 부품 생산의 X레이 검사를 위한 타이거 시리즈 제품과 부품·PCB 등의 3차원 구조 관찰을 위한 μ-3D 비주얼라이저 등도 선보인다.
FOX는 업계 최초로 나노포커스 X레이 시스템을 탑재, 나노 단위의 결점을 탐지할 수 있으며 특히 반도체 부품 검사에 적합하다. 이 제품은 모듈화된 콤팩트 디자인과 극초정밀 매니퓰레이터 시스템을 채택했으며 초정밀 측정과 실시간 이미지 프로세싱이 가능하다. 전자 부품 및 금속공정 관련 기계부품을 비롯, 자동차·항공산업 등의 분야에 적합하다고 회사 측은 설명했다.
평면 부품 생산을 위한 X레이 검사와 품질 보증 및 공정 개선 등의 기능을 가진 타이거 시스템 ‘FXS-160.40 마이크로포커스 X레이 시스템’은 부품 제작사와 SMD 어셈블리, 반도체 패키지 업체들의 다양한 요구에 대응해 개발됐다. 이 시스템은 특히 사용하기 간편하며 숙달되지 않은 작업자들이 무작위 샘플 검사를 수행하는 생산 라인 등에서 호응을 얻고 있다.
마이크로포커스 X레이 시스템 ‘μ-3D 비주얼라이저’는 전자 부품과 BGA·μBGA·플립칩·CSP·MCM 등의 3차원 구조를 즉시 관찰할 수 있는 장비. 특히 일반적으로 겹쳐져 있는 구조로 인해 검사할 수 없는 솔더 조인트 내의 결점을 검사할 수 있다.
엘렉시스는 1987년 설립됐으며 X레이 검사 장비를 비롯, 세라믹칩 제조 장비·열처리 장비·PCB 및 스텐실 마스크 관련 레이저 장비와 SMD 관련 광학 검사장비 등을 생산한다. 또 한국마이크로조이닝협회(KMJA)의 운영위원사로 활동하고 있다.