“반도체 팹 공정을 재활용하면 적은 투자비용으로도 마이크로머시닝(MEMS) 기술을 활성화할 수 있습니다.”
오는 9일까지 열리는 제13회 트랜스듀서 종합학술대회 기조발표를 위해 방한한 커트 피터슨 사이타임 CEO는 “IC산업에서 MEMS를 이용하기 위해서는 반도체 공정에 쓰이는 청정 시설과 같은 설비가 필요하다”면서 “이를 위해 대규모 투자를 하는 것보다 기존 반도체 팹 공정을 이용하면 좋을 것”이라고 말했다.
모바일, 자동차, 광, BT 등 산업전반에 MEMS가 적용되기 위해서는 중소기업도 이를 적극적으로 활용할 수 있는 기반이 마련돼야 한다는 게 피터슨 사장의 주장이다.
그는 “미국에서는 이미 6인치 반도체 공정이 MEMS 공정으로 활용되고 있다”면서 “MEMS라고 하면 대규모 투자와 지원이 필요할 것으로 여기고 있지만, 소규모 기업에서도 이용할 수 있는 방안이 많다”고 설명했다.
이러한 기반을 활용, 피터슨 사장은 82년부터 트랜센서리 디바이스와 노바센서, 세피드 등 칩 전문사와 공동창업으로 MEMS를 활용한 제품을 상용화했다. 대규모 투자에 의존하지 않으면서도 성공적으로 사업을 이끌어 오며 국내에서도 MEMS 권위자로 알려져, 이번 트랜스듀서 학술대회에서도 첫 번째 기조 발제자로 초청됐다.
피터슨 사장은 “MEMS는 아직 성장기에 불과하지만 적용분야가 다양하고, 특히 최근에는 유비쿼터스 네트워크를 위해 초소형 RF 부품에 대한 수요가 높은만큼 사업화·성숙화의 희망이 있다”며 “수 년 안에 TI의 DLP 칩이나 HP의 잉크젯 센서와 같은 대규모 양산 사례가 쏟아져 나올 수 있을 것”이라고 자신했다.
문보경기자@전자신문, okmun@