관련 통계자료 다운로드 나노공정 반도체 제조장비 실용화 사업 개요
차세대 반도체장비 국산화를 위해 정부·연구(학)계·대중소기업이 공동으로 기획한 ‘나노공정 반도체 제조장비 실용화사업’이 시작도 못한 채 중단 위기를 맞고 있다. 이 사업은 대형 국가연구개발 실용화사업의 일환으로 추진해 왔으나, 최근 재원 확보가 불투명해지고 있는 것이 원인이다. 더욱이 지난 5월 과학기술관계장관회의 실무조정 결과, 재원 확보와 추진 보완 등의 문제로 ‘추가검토사업’으로 분류되면서 정부가 이 사업을 진행할 것인지를 분명히 정하지 않아 업계 혼란만 가중되고 있다.
◇나노공정 반도체제조장비 실용화사업이란=3∼5년 내 실용화가 가능한 전략적 나노장비를 선정해 개발함으로써 반도체 전공정장비 국산화율을 높이자는 것이 이 사업의 취지다. 산업자원부가 주관부처로, 과학기술부와 정보통신부가 협조부처로 진행하며, 이미 산·학·연 전문가를 포함한 ‘차세대 나노반도체 제조장비 실용화 사업단’을 통해 단기간 실용화가 시급한 60나노급 식각·증착·검사 장비를 대상으로 선정해 놓은 상태다.
◇왜 중요한가=반도체장비는 그 특성상, 기술 개발 이상으로 개발된 장비의 실용 검증과정이 중요하다. 해외 선진장비업체에 비해 자금력이 떨어지는 중소 규모의 국내 장비업체들로서는 기술을 개발해 놓고도 투자비용 때문에 실용화에 엄두를 못 내는 사례가 적지 않다. 업계 한 관계자는 “반도체공정이 나노공정으로 전환되면서 국내 장비업계는 어느 때보다 호기를 맞고 있다”며 “세계 최대 소자기업을 보유하고 있는 한국 장비업계로서는 나노 전환기에조차 주도권을 놓치면 선진 해외업체들과의 격차를 따라잡을 수 없다”고 강조했다.
◇어떻게 진행돼 왔나=나노장비 실용화 사업은 과기혁신본부가 3∼5년 내 실용화가 가능한 분야에 대한 수요조사 결과를 토대로 과제를 도출했다. 이에 산자부와 반도체업계는 ‘실용화 사업단’을 구성, 삼성전자·하이닉스·동부아남 등 수요업체의 참여를 전제로 한 핵심 아이템 선정 및 실용화 방안을 마련했다. 그러나 정부 전체 R&D 예산 가운데 10% 이내에서 조정해 재원을 확보한다는 당초 계획이 무산되면서 추진이 불투명해진 상태다.
◇뚜렷한 대안 없어=관련업계는 ‘추가검토과제’의 의미가 모호하다는 반응이다. 과기부 연구조정총괄담당관실의 이은우 과장은 “대형 국가연구개발 실용화사업의 재원은 정부 전체 R&D예산 가운데 추가 예산이 생기면 별도 지원도 가능하지만, 기본 원칙은 주관부처가 스스로 지원할 수 있는 범위에서 재원을 확보해 추진하는 것”이라고 밝혔다. 그러나 이 사업은 초기 과학혁신본부에서 기획해 진행한 것으로 주관부처는 대상 과제로 선정된 후에 참여했다. 이 때문에 산자부 측은 이미 내년도 부처 예산 책정이 끝난 상황이어서 1400억원(3년간)에 이르는 예산을 새로 확보한다는 것은 사실상 불가능하다는 태도다. 업계는 예산에 대한 충분한 검토 없이 몇 개월에 걸쳐 ‘헛일’만 했다는 불만을 감추지 않고 있다.
◇해결방안은=이 사업에 필요한 예산은 3년간 총 2000억원 규모. 정부가 1400억원, 업계가 600억원을 부담하게 돼 있다. 업계는 이 사업의 필요성을 절감하고 있는만큼 민간부담(30%) 재원은 쉽게 확보할 수 있을 것으로 보이며, 정부 예산 부문에서 과기부와 산자부가 지금보다 조금 더 적극적으로 예산 확보에 노력해 ‘솔로몬 해법’을 찾아야 한다.
모처럼 삼성전자·하이닉스반도체·동부아남반도체 등 수요 기업이 한 목소리로 필요성을 강조하고, 적극적으로 중소기업인 장비업체 지원을 강화하겠다는 의사를 표명하면서 추진한 과제인만큼, 반도체업계는 정부의 특단의 대책을 기대하고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@
나노공정 반도체제조장비 실용화사업 개요
주관(협조)부처 산자부(과기부·정통부)
국내기술개발현황 60나노급 차세대반도체 제조장비(식각장비·증착장비·검사장비)
실용화 방법 원천기술 기초로 장비 제조업체와의 협력 제작
실용화 가능성 성능시험 후 2008년 상용화 가능
애로사항 시제품 개발 후 상용화까지 막대한 재원 소요. 개발된 장비의 성능검증 기회 부족
사업 효과 15조4000억원 규모 장비시장 창출(수입 대체), 8조원 규모 생산 유발 효과, 4만명 고용창출, 장비평가센터 초석 마련