SEZ코리아(지사장 정덕헌)는 본사인 SEZ가 아비자테크놀로지와 반도체용 원자층증착장비(ALD) 박막제거 기술 개발에 상호 협력키로 했다고 13일 밝혔다.
SEZ는 오스트리아에 본사를 둔 싱글 웨이퍼 습식 세정 공정장비 개발업체로, 이번 협약으로 박막 증착 및 제거분야 기술력을 강화할 수 있게 됐다.
아비자테크놀러지는 ALD 전문업체로, 미국 캘리포니아에 본사를 두고 있다.
ALD장비는 나노반도체 생산에 적합한 차세대 장비로, 국내에서는 주성엔지니어링·아이피에스 등이 제품을 개발해 놓고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@