한국애질런트테크놀로지스(대표 윤승기 http://www.agilent.com)는 MCP와 플래시메모리 패키지를 검사하는 테스터인 ‘버사테스트 시리즈(V5500·사진)를 출시하면서 플래시 패키징(후공정) 장비 시장에 본격 진출한다고 24일 밝혔다.
이 장비는 테스터 퍼 사이트(tester-per-site) 아키텍처와 프로그래밍 가능한 인터페이스 메트릭스 옵션을 적용, 복합 메모리 유형(플래시·D램·S램)의 MCP를 단일 삽입(single-insertion)해 테스트할 수 있다. 최대 256핀의 복잡한 MCP를 64 ∼ 256개까지 동시에 테스트할 수 있다고 회사 측은 설명했다.
이 장비는 패키징 상태의 칩 뿐 아니라 베어 칩 단계에서도 검사가 가능한 복합 테스터로 활용할 수 있는 것이 특징이다.
애질런트는 이 장비의 국내 공급을 위해 국내 주요 테스트핸들러(이송 로봇 팔)업체와 공동 개발을 진행하고 있다. 테스터는 실제 칩 검사를 담당하는 테스터와 핸들러(로봇반송장치)로 구성돼 있어, 핸들러업체와의 공조가 필수적이다.
애질런트는 지난 2001년 웨이퍼 테스트장비로 국내 메모리반도체시장에 처음 진출했으며, 이번에 MCP 수요를 겨냥해 플래시 패키지 테스터를 출시하면서 한국 시장 공세를 강화하고 있다.
국내 패키지 테스터시장에는 현재 일본 어드반테스트와 미국 넥스테스트·크레던스 등이 진출해 있으며 아직 국산 장비는 개발되지 않은 상태다.
심규호기자@전자신문, khsim@