중견 부품소재 업체들이 질화알루미늄(AlN) 세라믹 소재 시장에 눈독을 들이고 있다.
21일 관련 업계에 따르면 티씨케이·코미코 등이 내열성·내구성이 탁월한 AlN 소재를 사용한 반도체·디스플레이 생산장비용 장비 부품 시장에 적극 나서고 있다.
AlN 소재는 다양한 세라믹 소재 중에서도 열전도성과 경도가 높아 유해 가스가 많이 쓰이고 내부 환경이 열악한 에칭 및 CVD 장비의 정전척(ESC)이나 장비 기물 등의 핵심 소재로 쓰인다.
티씨케이(대표 이순창 http://www.tck.co.kr)는 웨이퍼 성장로·웨이퍼 보트 등 기존 흑연 소재의 반도체 장비 및 부품에서 AlN 등 세라믹 소재 부품으로 사업을 확장한다는 계획이다. 이를 위해 최근 한국화학연구원과 제휴, AlN 소재의 ESC 관련 기술을 도입하기로 했다.
이 회사는 에칭 장비와 CVD 장비용 세라믹 ESC를 개발, 내년 초까지 상용화한다는 목표다. 특히 히터 기능이 결합된 CVD용 ESC 등에 주력할 계획이다. 이 회사 이순창 사장은 “올해 연구소를 신설하고 세라믹 소재 관련 연구 인력을 강화하는 등 준비를 해왔다”며 “세라믹 소재 분야에서 신성장 동력을 찾을 것”이라고 말했다.
ESC는 반도체 장비 내에서 정전력을 이용해 웨이퍼와 접촉하지 않고 웨이퍼를 착탈할 수 있는 소모성 부품으로 에칭이나 CVD 공정의 핵심 부품이다. 국내 시장 규모는 1000억원으로 추산되며 미국·일본 업체들이 장악하고 있다.
부품 정밀 세정 사업에서 세라믹 소재로 영역을 넓히고 있는 코미코(대표 전선규 http://www.komico.co.kr)도 AlN 소재의 200㎜ 웨이퍼용 ESC를 내놨으며 300㎜ 제품 개발도 진행중이다.
에스엔티(대표 이재홍 http://www.snt.co.kr)도 AlN 소재의 개발을 마치고 시장 진입을 타진하고 있다.
한세희기자@전자신문, hahn@