우리나라 나노 소자 분야 기초·원천 기술 연구와 비실리콘계 화합물반도체 소자 제작에 필요한 장비·시설 대여 서비스를 담당할 나노소자특화팹센터가 오는 2월 20일 문을 연다.
나노소자특화팹센터는 핵심시설인 팹 건물이 거의 완공됨에 따라 우선 이날 1차로 문을 열고 일부 장비 시설을 대상으로 팹 서비스를 개시한다고 16일 밝혔다.
이 센터가 2월부터 서비스를 제공할 장비 품목은 △나노 리소·패턴 라인 △나노소자 산업화 지원 라인 △나노 R&D 지원 라인 △특성 평가 지원실 등 4개 연구실에 속한 반도체 패터닝장비(마스크 얼라이너), 반도체 세정장비 등 총 35종이다.
센터는 오는 3월 20일과 4월 28일까지 두 차례에 거쳐 추가로 장비를 도입, 연내 90여 종에 달하는 최신 나노급 반도체 공정 장비를 모두 갖출 계획이다.
또 오는 4월 28일에는 준공식을 갖고 연구 벤처동과 사무공간을 포함해 센터 전체의 운영을 정식으로 시작할 예정이다.
한편 나노소자특화팹센터는 과학기술부와 경기도 및 한국과학기술연구원, 서울대, 성균관대 등 6개 민간기관이 1652억원을 공동 출자해 지난 2004년 7월 착공됐다. 나노급 반도체 패터닝 및 구조 제작, 조작·분석 등 반도체 공정에 필요한 고가의 대형 장비를 연구기관이나 기업에 임대해주고 나노기술 연구개발과 산업화를 지원하는 것이 이 센터의 목표다.
조윤아기자@전자신문, forange@