케이엘에이텐코코리아(지사장 홍완철)는 300㎜ 웨이퍼 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 문제점을 조기 발견할 수 있는 자동 검사장비(모델명 Viper2435·사진)를 출시했다고 1일 밝혔다.
이 장비는 노광 및 연마(CMP), 에칭 등 주요 반도체 공정에서 발생하는 다양한 결함을 포착할 수 있어 수율 향상에 기여한다. 시간당 100개의 웨이퍼를 샘플링할 수 있으며 수동 검사에 비해 67%의 유지비용 절감 효과가 기대된다.
결함이 있는 웨이퍼를 조기에 발견, 웨이퍼 재작업 및 공정문제 해결작업을 진행해 불량 발생으로 인한 손실을 최소화할 수 있다고 회사측은 설명했다.
한세희기자@전자신문, hahn@