“미리 미리 검사합시다.”
반도체·디스플레이 생산 라인에서 테스트의 중요성이 커지는 가운데 공정 마지막뿐 아니라 중간 단계에서도 테스트 작업이 확대되면서 이 시장을 겨냥한 장비 업체들의 움직임도 빨라지고 있다.
300㎜ 웨이퍼나 7세대 LCD 라인 등 대형 라인의 등장으로 개별 웨이퍼나 유리기판 가격도 크게 높아지면서 불량이 발생할 경우 입는 피해도 함께 커졌기 때문이다. 300㎜ 웨이퍼의 경우 200㎜ 제품에 비해 웨이퍼 1장에 반도체가 2.5배 가량 많아 가격도 높아질 수 밖에 없다.
케이이엔지(대표 김동관)의 중력검사시스템(GIS)은 TFT와 컬러필터를 부착한 LCD 반제품인 셀을 수직으로 세워 일정한 시간 동안 가열, 액정이 중력에 의해 아래로 모이는 불량을 미리 검출하는 장비다. 김동관 부회장은 “LCD 기판 대형화와 함께 수요가 증가, 회사의 주력 제품으로 성장하고 있다”고 말했다.
디아이(대표 최명배)와 프롬써어티(대표 임광빈)는 읽기·쓰기 등 주검사 장비의 기능을 함께 갖춘 웨이퍼번인테스터를 새로 내놓고 시장 공략을 가속화하고 있다. 업그레이드된 웨이퍼번인테스터로 반도체 업체들의 검사 장비 투자 비용을 줄일 수 있을 것으로 기대하고 있다.
웨이퍼번인테스트는 전공정을 마친 웨이퍼에 급격한 온도 변화 등의 스트레스를 줘 불량을 미리 검출하는 것으로 반도체 조립이 끝난 후 하는 패키지번인테스터에 비해 검사 부담이 줄어들고 수율 향상에 기여한다.
케이엘에이텐커코리아(지사장 홍완철)는 노광 및 연마(CMP), 에칭 등 주요 반도체 공정에서 발생하는 다양한 결함을 포착, 불량을 조기 발견할 수 있는 검사 장비를 내놓았다.
한세희기자@전자신문, hahn@