뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 지난 1993년 설립 이래 국내 플라즈마 관련 기술 및 장비 분야를 개척해 왔다.
뉴파워프라즈마는 고주파 전원장치와 임피던스 정합장치등의 장비부품 개발에서 시작하여 플라즈마 발생기술을 친환경 세정장치인 원격플라즈마 발생기(RPG: Remote Plasma Generator·사진)에 적용, 국내 시장 점유율 1위를 고수하고 있다.
반도체·LCD 공정에 세정용으로 쓰이는 PFC 계열의 유해 잔류 가스를 세정하는 리모트 플라즈마 제너레이터는 2003년 ‘10대 신기술 제품’으로 선정된 바 있으며 세계 시장에서도 점유율 2위를 기록하고 있다.
지난해 국내 소자 업체에 판매된 ‘Gen Core ICP’를 장착한 반도체 전공정 애셔 장비는 감광제 제거 속도(Ash Rate) 및 생산성(Throughput) 등에서 세계 최고성능을 확인하였으며, 올해 초 플라즈마 높낮이 제어가 가능한 복층 챔버구조 300㎜ 애셔 장비 납품을 준비하고 있다.
뉴파워프라즈마는 플라즈마 관련 원천 기술을 기반으로 플라즈마 소스에서 부분 유닛, 장비에 이르는 종합 플라즈마 솔루션을 구축한다는 계획이다.
특히 지난해부터 진행된 페라이트 코어 ICP 소스의 초대면적화 연구를 통하여 2000㎜의 폭에서도 플라즈마의 밀도(Density)와 균일도(Uniformity)를 확보하는 기술을 개발했으며 현재 대기압 상태에서의 특성 평가를 진행 중에 있다.
플라즈마 발생 기술의 확보는 고도로 성장하고 있는 반도체 및 LCD 장비 산업을 주도할 수 있는 핵심 요소이며 제품 차별화의 근간으로 평가된다.
뉴파워프라즈마는 올해 수원 본사 인근에 새롭게 마련한 신공장 가동을 통하여 4년연속 100% 성장을 위해 매진하고 있다. 세계 수준의 플라즈마 소스 기술을 향한 지속적이고 열정적인 연구를 통해 작지만 강한 기업, 세계 일류기업으로 성장한다는 목표다.
최대규 사장은 “플라즈마 기술은 나노 수준의 정밀 가공이 가능하고 환경 문제도 없는 차세대 기술”이라며 “척박한 환경에서 플라즈마 연구를 시작, 국산화와 해외 진출의 성과를 나타내고 있다”고 말했다.