로봇앤드디자인(대표 김영철 http://www.rnd.re.kr)은 대만 최대 반도체 제조사중 하나인 T사에 300㎜ 웨이퍼 이송용 로봇을 수출했다고 밝혔다.
이 로봇은 반도체 생산공정에서 웨이퍼를 담은 카세트(폽: Foup)을 옮겨주는 장비로 웨이퍼 25매를 담아 스토커(Stocker)로 이동시키는 역할을 한다.
10㎏ 이상의 하중물을 600㎜ 이송시 오차범위가 0.1㎜ 이하로 설계된 특수 메커니즘 로봇으로 유연하고 정확한 움직임이 가능한 점이 특징이다.
로봇앤드디자인은 그동안 200㎜ 웨이퍼 카세트 핸들링 로봇과 웨이퍼 SMIF로봇을 국산화해 국내 업체들에 공급해 왔으며 대만시장 진출은 이번이 처음이다.
클린룸 10규격의 사용조건과 각종 주변장치와의 호환성을 높였고 대만 생산현장과 엔지니어 특성에 맞게 최적화됐다.
특히 로봇의 손 부분은 카세트가 있는지 여부를 확인하는 센서와 3포지션 안착센서를 중복 사용해 안전을 확인하도록 했으며 현지 다양한 라인, 장치에 사용하도록 제어부와 구동부를 별도로 확장연결하도록 했다.
이 회사 이중엽 해외영업 이사는 “이번 수출을 계기로 대만내 시장을 확장하면서 조립 핸들링용 미니 스카라로봇, 미니크레인 로봇으로 공급을 확대하고 수출선의 다양화를 추진할 것”이라고 말했다.
김용석기자@전자신문, yskim@