가정의 형광등에서 벽걸이 PDP TV, 첨단 반도체 장비에까지 폭넓게 쓰이는 ‘제4의 물질’ 플라즈마.
플라즈마 기술의 산업적 가능성은 무한한 것으로 평가된다. 기체보다 입자가 안정된 상태에서 정밀 가공과 표면 처리가 가능하고 환경 오염이 없는 친환경 기술이기 때문이다. 특히 반도체·LCD 장비분야에서 상업화가 활발하다. 이온주입 장비, 플라즈마 에칭 장비, 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD), 스퍼터링 장비, 표면처리 장비 등의 관련 장비가 반도체 제조 공정에 쓰이고 있다. LCD는 생산 공정의 50% 정도가 플라즈마로 구성된다고 할 수 있다. 그러나 우리나라의 플라즈마 기술은 원천 기술 부족으로 아직 걸음마 단계인 상황.
뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 바로 이 플라즈마 기술을 기반으로 반도체·디스플레이 장비 분야에 도전하는 업체다. 이 회사는 1997년 반도체 웨이퍼와 LCD의 표면 가공, CVD·스퍼터링 공정 등에 필수적인 플라즈마 발생 장치(RF제너레이터)의 국산화에 성공했다. 이후 매칭네트워크·플라즈마 클리너 등의 플라즈마 관련 장비를 잇달아 국산화했다.
또 반도체·LCD 공정에 세정용으로 쓰이는 PFC 계열의 유해 잔류 가스를 플라즈마로 세정하는 리모트 플라즈마 제너레이터와 유해 가스를 분해하는 드라이스크러버 등 친환경 제품도 내놓았다.
자체 개발한 코어 ICP를 채택, 플라즈마 발생 효율을 높였으며 리모트 플라즈마 제너레이터 제품을 중심으로 세계 시장에서 미국 어드밴스트에너지, MKS 등의 선발 업체들과 경쟁하고 있다. 매출도 매년 2배씩 급성장하고 있다.
최근에는 플라즈마 기술을 이용한 반도체 장비 분야에도 발을 들였다. 300㎜ 반도체 전공정에서 사용된 감광액을 제거하는 건식 애셔 장비를 개발, 본격 판매에 들어갔으며 300㎜ 반도체 식각 장비용 플라즈마 기술도 개발했다. 또, 2000㎜ 폭의 대면적에서도 플라즈마의 밀도와 균일도를 확보할 수 있는 플라즈마 소스를 개발, 7세대 이상 대형 LCD 공정용 세정 장비 등에 ICP 플라즈마 소스를 적용할 수 있게 될 전망이다.
* 최대규 사장 인터뷰
최대규 사장은 사업 시작 후 박사 과정을 밟아 최근 플라즈마 전공으로 박사 학위까지 딸 정도로 플라즈마에 열정을 불태우고 있다.
무한한 응용이 가능한 플라즈마 기술을 기반으로 세계로 뛴다는 목표에 푹 빠졌다.
최사장은 “플라즈마 기술을 ‘쌀’과 같다”고 말한다. 활용하기에 따라 쌀로 ‘밥’뿐만 아니라 떡이나 국수, 술 등 다양한 음식을 만들 수 있는 것처럼 플라즈마 기술도 활용처를 얼마든지 개척할 수 있기 때문이다. 플라즈마 발생 장치와 부품으로 해외 업체들이 장악하던 플라즈마 관련 시장에 발을 디딘 최사장이 먼저 찾은 신영역은 반도체·LCD용 장비 분야. 플라즈마 기술은 전공정 장비의 핵심 기술로 특히 최근 케미칼을 이용하는 습식 기술 대신 플라즈마를 이용하는 건식 기술이 각광받고 있는 상황이다.
최사장은 “정밀 가공이 가능하고 친환경적인 플라즈마 기술은 향후 산업 공정의 핵심이 될 것”이라며 “외산에 주로 의지하는 반도체 전공정 장비의 국내 경쟁력 강화에 일조하고 싶다”고 말한다. 그는 플라즈마 관련 생산 제품의 영역을 넓히는 한편, 지역적으로도 뻗어나가고 싶은 욕심이 있다. 미국·중국 등 세계를 무대로 뛰는 종합 반도체 장비 부품 업체가 목표다.
한세희기자@전자신문, hahn@