LCD용 식각 장비와 화학기상증착(CVD) 장비에 이어 스핀리스 코터가 국산화돼 LCD 핵심 전공정 장비의 기술 독립이 급물살을 타고 있다.
케이씨텍(대표 고석태 이순창 http://www.kctech.co.kr)은 LCD 기판에 포토레지스트(PR)를 바르는 스핀리스 코터를 국내 처음으로 국산화, 경기도 파주의 LG필립스LCD 7세대 라인에 공급한다고 22일 밝혔다.
스핀리스 코터는 PR를 도포하는 방식이 LCD 기판을 돌리는 것이 아니라 증착막 위에 뿌려주는 방식의 장비로 코터·디벨로퍼·세정기·오븐장비 등을 인라인화한 트랙시스템의 주축 장비다. 노광·식각·화학기상증착(CVD) 장비와 함께 4대 핵심 전공정 장비로 꼽히며 지금까지 TOK·텔·도레이 등 일본 업체로부터 전량 수입에 의존해 왔다.
이번 스핀리스 코터의 국산화로 LCD 핵심 전공정 장비의 약 3000억원 수입대체 및 수출 가능성 확대가 기대된다고 회사측은 설명했다.
특히 포토레지스트 사용량을 줄일 수 있는 스핀리스 방식으로 제작돼 LCD 라인의 원가 절감에 기여할 전망이다. 스핀리스 코터를 사용하면 기판을 회전하며 PR를 도포하는 기존 방식에 비해 PR 사용량을 10분의 1 가까이 줄일 수 있다. LCD 유리기판 대형화로 각종 공정재료비 부담이 늘면서 6세대 라인 이후에는 스핀리스 코터가 주로 쓰이고 있다.
이순창 케이씨텍 사장은 “일본 업체가 독점하던 시장에서 국산 장비의 시장 확보가 가능하게 됐다”며 “식각 및 CVD 장비에 이어 코터가 국산화되면서 국산 LCD 핵심 공정 장비의 라인 적용이 속속 이뤄지고 있다”고 말했다.
박만헌 LG필립스LCD 장비개발팀장은 “이번 개발은 수요 업체와 장비 업체의 노력으로 이뤄진 결과”라며 “상생의 노력을 바탕으로 대기업과 중소기업이 경쟁력을 갖추게 될 것”이라고 말했다. 한세희기자@전자신문, hahn@