한국아비자테크놀로지(대표 이종훈)가 국내 반도체 공정용 원자층증착장비(ALD) 시장 진출을 선언했다.
아비자테크놀로지 수브라타 차테르지 부사장<사진>은 25일 기자간담회를 갖고 “첨단 고집적 반도체 기술을 선도하는 한국 반도체 시장을 겨냥, 한국 내 ALD 장비 사업을 강화할 것”이라고 말했다.
이 회사는 이를 위해 최근 한국 지사를 설립하고 국내 반도체 업계에 대한 본격적인 영업에 들어갔다.
단원자층증착기술(ALD)은 기존의 물리적 기상 증착방식(PVD)이나 화학적 기상 증착방식(CVD)에 비해 박막에 가해지는 충격이 적고 불순물의 함유량이 적을 뿐 아니라 나노미터 이하의 두께를 제어하면서 증착이 가능하다.
이 회사의 싱글웨이퍼 ALD 장비(모델명 셀시오르)는 증착 반응이 일어나는 챔버의 크기를 줄이고 2축 웨이퍼 척을 채택, 작업 속도를 높이고 화학재료의 사용을 줄인 것이 특징이다. 챔버와 웨이퍼 이송 장치를 모듈식으로 구성, 작업 챔버를 손쉽게 추가 설치할 수 있다. 또 독자적인 샤워헤드 기술로 박막의 균일성을 높였다.
수브라타 차테르지 부사장은 “기존 화학기상증착(CVD) 및 식각 장비에서 검증된 기술력과 대만·중국 등 양산 라인 적용 경험을 바탕으로 국내 시장에 도전할 것”이라고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@