유니셈(대표 정진기 http://www.uni-sem.com)이 대만 파워칩세미컨덕터와 44억원 규모의 가스 스크러버 공급 계약을 했다고 30일 밝혔다.
이는 유니셈의 지난해 전체 수출액과 맞먹는 규모로 대만 등 해외 반도체 시장 개척의 기반이 될 것으로 기대된다. 특히 기존 화학기상증착(CVD) 공정용 장비뿐 아니라 확산 공정용 스크러버를 신규 공급, 고객의 요구에 맞는 다양한 장비를 공급할 수 있는 역량을 갖췄다고 회사 측은 설명했다. 또 올해 말 건설 예정인 파워칩세미컨덕터의 신규 라인에도 추가 수주가 가능할 전망이다.
가스 스크러버는 반도체 공정에 사용되는 유해 가스를 분해해 환경 오염을 막는 장비다.
한세희기자@전자신문, hahn@