코오롱과 은성코퍼레이션이 반도체용 폴리싱패드와 TFT LCD용 고기능 와이퍼 등 전자산업용 직물(e패브릭) 개발을 위한 산업자원부 부품소재기술개발사업 공동사업자로 선정됐다고 19일 밝혔다.
은성코퍼레이션은 기존 폴리에스테르 와이퍼에 비해 밀도가 높은 극세사 직물을 사용, 자체 린트(먼지) 발생이 없고 오염 제거력이 탁월한 LCD 클린룸용 고밀도 와이퍼의 개발에 나선다. 이 회사는 극세사를 특수가공해 흡습성과 닦임성을 개선한 전자산업용 고밀도 와이퍼를 2009년까지 개발, 2010년 140억원의 수입대체와 310억원 이상의 해외 수출을 목표로 하고 있다. 클린룸용 와이퍼 시장은 현재 3800억원 정도로 추산되며 현재 일본 가네보와 구라레이 등이 과점하고 있다.
코오롱은 반도체 공정에서 웨이퍼를 연마하는 폴리싱 패드를 개발, 수입 대체에 나설 계획이다.
두 회사는 4년간 76억원의 기술개발 자금을 지원받으며 코오롱이 60%, 은성코퍼레이션이 40%의 기술개발자금을 받아 2009년 개발을 마칠 계획이다. 한세희기자@전자신문, hahn@