국내 반도체 산업계에서 독자적으로 실용화된 테스트 공정 장비가 해외로 수출된다.
9일 관련 업계에 따르면 국내 반도체 검사장비 벤처기업인 프롬써어티(대표 임광빈)는 웨이퍼 상태에서 칩의 불량 유무를 사전에 빠른 속도로 검사하고 복구 가능성을 판단하는 웨이퍼번인시스템(WBI)을 대만 메모리 생산업체인 프로모스에 수출한다.
세계 반도체 테스트 분야는 미국과 일본 등 선진 장비업체가 기술을 주도하고 있지만, 웨이퍼번인시스템은 한국에서 상용화되고 검증된 ‘한국형 기술’이라는 점에서 주목된다.
웨이퍼번인시스템은 웨이퍼 상태에서 칩의 불량 유무를 사전에 빠른 속도로 검사하고 복구 가능성 여부를 판단하는 검사 장비로, 패키지가 아닌 웨이퍼 단계에서 칩을 간이 검사함으로써 수율을 평균 2∼3% 높일 수 있으며 신규 디바이스는 최대 10%까지 향상이 가능하다.
반도체 테스트 분야 학계 전문가는 “웨이퍼번인시스템은 메인 테스터에 비해 기술적으로 앞선 것은 아니지만 한국에서 실용화 및 검증을 거친 틈새 기술로 세계에서 성능을 인정받고 있다”며 “일본 반도체 업계는 메인 테스터에 일부 웨이퍼번인 기능을 추가해 사용하고 있으나 웨이퍼 대구경화에 따라 한국에서 검증된 전용 웨이퍼번인시스템을 도입하려는 움직임이 있다”고 말했다.
프롬써어티가 프로모스에 공급하는 웨이퍼번인시스템은 300㎜용으로, 공급 규모는 확정되지 않은 것으로 알려졌다. 대만 반도체 업계는 최근 급속히 300㎜ 전환을 서두르고 있어 웨이퍼번인 수요도 급속히 늘 것으로 예상된다. 프롬써어티는 이번 프로모스 외에도 일본 주요 반도체 업체와 웨이퍼번인시스템 공급 계약을 추진 중인 것으로 확인됐다.
심규호기자@전자신문, khsim@