반도체 공정용 가스 시장 구도에 변화가 일고 있다.
23일 관련 업계에 따르면 대성산업가스·프렉스에어코리아·한국특수가스 등이 분점하고 있는 반도체·디스플레이 공정 산업용 가스 시장에 BOC가스코리아가 신규 진입에 성공했다.
BOC가스코리아(대표 크리스토퍼 길·김중조)는 최근 경기도 기흥의 삼성전자 반도체 공장에 초고순도 가스 공급 시설을 완공하고 15라인에 공급을 시작했다.
이 가스 공급 시설은 1만평의 부지에 질소 2만6000㎥/h, 산소 9000㎥/h, 아르곤 350㎥/h의 공급 능력을 갖추고 있다. 특히 삼성전자와 향후 10년간 안정적 공급 계약을 맺어 수요량은 지속적으로 증가할 전망이다. 또 향후 17라인에도 가스를 공급하게 된다.
삼성전자 15라인은 건물 건설에 6369억원, 설비 투자에 6183억원이 투자되는 라인으로 올해 안에 양산에 들어가 웨이퍼 월 5만장까지 생산능력을 늘릴 계획이다. 낸드플래시메모리를 주로 생산할 것으로 전망된다.
삼성전자의 15 및 17 반도체 라인에 초고순도 가스를 대량 공급하게 됨에 따라 BOC가스코리아는 단숨에 국내 반도체용 가스 시장의 주요 업체로 부상했다.
이는 반도체의 고집적화와 라인 대형화로 초고순도 가스의 중요성이 커지면서 삼성전자가 가스 공급 업체 간 경쟁을 유도, 고품질의 가스를 공급받기 위한 것으로 풀이된다.
업계 한 관계자는 “공급 업체 다변화를 원하는 삼성전자가 산업용 가스 분야에서 오랜 기술력을 가진 BOC가스를 선택한 것으로 보인다”고 말했다.
BOC가스코리아는 1988년 영국 BOC그룹의 한국 법인으로 기흥·포항·서산 등 전국에 산업용가스 제조 공장과 공급망을 갖추고 있으며 지난해 1214억원의 매출을 기록했다. 한세희기자@전자신문, hahn@