반도체 및 FPD 장비업체인 세메스(대표 이승환 http://www.semes.com)는 올해 IMID전시회에 기판 크기 2200×2500㎜의 8세대 TFT LCD 인라인 에처스트리퍼를 비롯해 △슬릿코터 △클리너(면취후세정기) △실리콘 디스펜서 △OLED 패널라인 등을 출품한다.
8세대 인라인 에처스트리퍼는 LCD 제조 공정에서 원판글라스 표면에 형성된 미세회로 패턴을 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분을 화학약품 등으로 제거하는 식각공정에 사용되는 장비로 포토레지스트 잔류물을 초음파·고압 스프레이 방식으로 제거하는 장비다. 특히 마그네틱 타입 이송장치를 적용하여 불순물을 대폭 감소시키고 관리 및 정비가 용이하다.
7세대 슬릿코터는 TFT와 컬러필터 유리기판 위에 포토레지스트를 균일하게 입혀주는 기능을 하는 장비이다. 기존의 스핀 방식이 아닌 긴 노즐을 통해 기판 위에 균일하게 분사하는 슬릿 방식을 적용하여 높은 균일도를 자랑한다. 이 장비는 현재 데모평가가 진행 중이며 조만간 이후 본격 양산에 들어갈 예정이다.
세메스의 실리콘 디스펜서는 LCD 패널의 인쇄회로기판(PCB) 등 각종 부품들을 실리콘으로 고정하는 장비로 주요 특징으로는 △풋프린트 최소화 △셀 이동에 의한 실리콘 도포 △게이트 2열 동시 도포 등이다. 이를 통해 46인치 패널을 15초 만에 작업할 수 있다.
세메스는 이와 함께 차세대 디스플레이로 각광받고 있는 OLED 4세대 패턴 라인도 업계 최초로 개발, 공정 평가 후 양산에 들어갈 예정이다.
세메스는 향후 반도체 및 LCD 전공정 장비 라인업을 완료하고, 글로벌 토털 장비업체로 거듭날 계획이다. 국내 선도 장비업체의 위치에 만족하지 않고 전공정 핵심장비 개발 및 양산으로 매년 100% 이상 성장, 2010년 연매출 1조원의 글로벌 기업으로 거듭난다는 목표다. 이를 위해 매년 매출액 대비 10% 이상을 연구개발 예산으로 책정, 개발 제품별로 많게는 수십억원에서 100억원까지 연구개발비로 투자할 계획이다.