시노펙스(대표 박내성·이근수 http://www.synopex.com)가 반도체 및 LCD 생산라인에 쓰이는 대구경 고성능 필터를 개발했다고 29일 밝혔다.
이 제품은 정밀 화학용제 정제 및 순수(純水) 세정용 고성능 필터로 100㎚ 이상 크기의 불순물을 걸러낼 수 있어 반도체·LCD 라인과 같이 초정밀 화학용제 및 순수를 사용하는 첨단 공정에 적합하다. 또 필터 지름이 130㎜로 기존 83㎜ 제품보다 여과 면적이 2배 이상 확대돼 대용량의 용액 정제가 가능하다.
이 필터를 사용하면 반도체·LCD의 미세회로 형성 공정에 쓰이는 각종 화학화합물과 초순수에 미세한 이물질이 들어가는 것을 막아 생산 수율을 높일 수 있다고 회사측은 설명했다. 시노펙스 나노필터사업부 이용훈 상무는 “12인치 웨이퍼나 7∼8세대 LCD 등 생산라인의 대형화 추세로 대용량 화학용제와 세정수를 처리할 수 있는 고성능 필터 수요가 증가하고 있다”며 “이번 개발로 대부분 해외 수입에 의존하던 고성능 필터의 국산화가 빠르게 진행될 전망”이라고 말했다.
시노펙스는 1993년부터 산업용 정제 필터를 차세대 성장동력으로 선정, 사업역량을 집중하고 있으며 1994년에는 필터 국산신기술 인증을 받기도 했다. 현재 미국 일본 등 12개국에 산업용 정제 필터를 수출하고 있으며 이번 반도체·LCD 라인용 필터 개발을 계기로 고성능 필터 사업을 지속적으로 확대할 계획이다.
한세희기자@전자신문, hahn@