나노임프린트 리소그라피 기술이 디스플레이용 광학소재 분야와 접목되면서 기초 연구단계를 넘어 빠르게 상용화 길에 접어들고 있다.
나노임프린트란 미세한 정밀 금형을 이용해 나노 수준의 회로 패턴을 도장처럼 찍어낼 수 있는 기술로 기존 노광 공정에 비해 단순하고 비용이 낮은 장점이 있어 차세대 패턴 형성 기술로 주목받아 온 기술이다.
◇상용화 가속=올해 나노코리아2006에서는 LG전자가 나노임프린트 기술을 이용해 프로젝션TV용 편광필름과 데이터 저장장치, 포토닉 크리스털 제품 등을 선보였다. 케이원솔루션은 덴마크 NILT 및 독일 마이크로테크놀로지의 나노임프린트용 레진을 국내 주요 반도체·LCD 업체에 공급하면서 상용화에 일조하고 있다. 일본 옴론은 나노임프린트로 개발한 40㎚ 수준의 광학필름에 렌즈 어레이를 선보였다. 이 외에 LG필립스LCD는 나노임프린트로 TFT 회로를 형성하는 기술을 개발하고 있으며 삼성전자는 생산기술연구원을 중심으로 나노 임프린트 기술을 반도체·LCD 공정에 적용하는 방안을 검토중이다. 테크노세미켐은 나노임프린트용 레진 소재 업체 지분을 인수, 관련 연구를 진행중이며 동진쎄미켐도 나노임프린트용 소재를 개발하고 있다.
◇광학분야와 접목으로 진일보=배중서 엔앤디 사장은 “나노임프린트 기술은 당초 100나노 이하 미세 반도체 패턴 형성을 위한 대안 기술로 출발했지만 현재는 디스플레이 소재 등에서 활용도가 높다”며 “세계 주요 디스플레이 및 광학필름 업체들이 한국에 모여 있어 이 분야를 중심으로 초기 산업화가 진행되고 있다”고 말했다. 30일 킨텍스에서 개최된 나노코리아2006의 부대행사로 열린 ‘한일나노산업화포럼’에서 양국 참석자들은 나노임프린트 기술이 LCD·LED용 광학필름과 광저장매체 등을 중심으로 적용이 늘고 있는 실제 사례를 발표해 관심이 집중됐다. 공기압을 이용한 임프린트 장비를 판매하고 있는 엔앤디 관계자는 “광학필름 업체들이 판매량의 절반 이상을 구매하고 있다”며 “나노임프린트 기술이 광학소재와 결합해 상용화를 앞당기고 있다”고 설명했다. 안진호 한양대 교수는 “기존 노광 기술과 경쟁하며 새로운 애플리케이션을 찾는 것이 관건”이라고 말했다.
한편 특허청에 따르면 나노임프린트 기술 특허출원은 2002년까지 31건에 그쳤으나 지난해까지 총 147건으로 지난 3년간 4배가량 증가, 나노임프린트 기술에 대한 관심이 커짐을 보여주고 있다.
한세희기자@전자신문, hahn@
◆이모저모
○…나노코리아 2006에서 기조강연을 한 임관 삼성종합기술원 회장은 지식기반 사회 성공의 키워드로 새로운 산업과 기술에 대한 이해력을 강조했다. 임 회장은 “20세기 초 미국의 3대 부자는 소매업자와 제과업자였지만 빌 게이츠 등 오늘날 미국의 3대 부자는 모두 소프트웨어 종사자”라며 “디지털 코드를 이해하는 사람만이 지식기반 사회를 선도할 수 있다”고 말했다. 또 기술 중심의 강소국으로 성장하기 위한 조건으로도 ‘시민 사회의 기술에 대한 해독력(literacy)’을 꼽았다. IT·NT·BT가 결합하며 20년 사이에 특허 출원건수가 200% 가까이 증가하는 지식 폭발시대의 역동성에 대응하는 것이 가장 중요하다는 것.
○…나노 소재 분야는 나노 입자 크기 경쟁에서 기능성 경쟁으로 넘어가는 추세가 완연했다. 예년에는 더 작은 입자를 더 균일하게 생산·공급하는 능력에 초점이 맞춰진 반면에 올해 출품 업체들은 다양한 기능의 제시에 주안점을 뒀다. ABC나노텍은 액상과 기상법을 결합한 대량 생산 기술을 바탕으로 LCD용 광확산재나 자동차 엔진 등에 적용 가능한 나노 입자를 내놓았다. 케이피엠테크는 휴대폰 전자파차폐 기능을 가진 나노 입자 기술을 출품했으며 잉크테크는 RFID 회로 등의 전극 인쇄용에서 섬유·자동차 휠 도금 등에 사용 가능한 나노 입자 및 잉크를 선보였다.
○…올해 나노코리아에는 측정·계측기 외에도 다양한 나노 기술 관련 장비가 선보여 나노 기술의 산업화와 현장 적용을 위한 노력이 현실화되고 있음을 보여줬다. 엔엔디는 8인치 웨이퍼 패턴 형성이 가능한 나노임프린트 장비를 선보였고 세메스는 탄소나노튜브(CNT)의 대량생산 능력을 개선할 수 있는 CNT 발생장치를 공개했다. 뉴파워프라즈마는 플라즈마를 이용한 세정장비를 선보였고 나노 입자 업체들은 플라즈마 등 기상 공법을 이용해 자체 개발한 입자 생산장치들을 공개했다.
한세희기자@전자신문, hahn@