화합물반도체 나노소자 연구기관인 나노소자특화팹센터(대표 이중원 http://www.kanc.re.kr)는 18일 반도체 장비 생산 전문기업인 아티스(대표 이재화 http://www.atiskorea.co.kr)와 팹시설구축사업을 위한 협약을 체결했다.
약정에 따라 아티스는 수원시 영통구 이의동에 위치한 나노소자특화팹의 시설구축사업에 약 5000만원 상당의 세정장치의 유지보수 및 안정성 관리를 위한 현물을 출연하고 나노소자특화팹센터가 보유한 청정실, 공정·특성평가 장비 및 시설을 이용하게 된다. 나노소자특화팹센터는 아티스의 반도체 공정 및 장비 기술 개발의 노하우를 이용한 공동 연구협력으로 나노기술 기초연구 지원을 위한 서비스를 강화해 나갈 계획이다.
한편, 아티스는 2003년 설립됐으며 반도체 생산라인의 모든 공정에 사용되는 세정장비인 웻 스테이션(Wet Station)을 주력품목으로 생산하고 있다.
조윤아기자@전자신문, forange@