국내 벤처기업이 세계최초로 두장의 웨이퍼를 동시에 처리하는 에피공정 장비를 개발했다. 에피공정 장비는 전량 수입에 의존해 오던 것으로 이번 국산화로 150억원의 수입 대체효과가 기대된다.
에피 공정은 단결정 웨이퍼 기판 위에 하부 결정 구조와 동일한 단결정 박막을 성장시키는 기술로, 우수한 전기적 특성으로 인해 고성능 나노공정 반도체에 필수적인 요소다.
반도체·디스플레이공정장비전문업체인 테라세미콘(대표 장택용 http://www.terasemicon.co.kr)과 반도체산업협회는 ‘시스템IC2010사업’을 통해 세계 최초로 두 장의 웨이퍼를 동시에 처리해 생산성을 2배 가량 높인 신개념의 에피 공정 장비를 개발했다고 22일 밝혔다.
현재 에피공정 장비를 양산하고 있는 업체는 미국 AMAT와 ASM 두 곳 뿐이며, 두 회사 모두 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 매엽식 장비만을 공급하고 있다. 테라세미콘의 에피장비는 2장 동시처리를 통해 생산성 및 장비 운영비를 대폭 개선한 것이어서, AMAT와 ASM이 양분하고 있는 시장 공략이 가능할 것을 기대된다.
특히 이 공정은 최근 빠르게 국내시장이 성장하고 있는 시스템반도체(비메모리) 및 다양한 기능을 내장하는 복합반도체에서는 없어서는 안될 핵심 기술로, 미세공정이 나노급으로 진화하면서 세계 유수의 반도체 장비 업계가 개발에 박차를 가하고 있다. 세계 에피장비 시장규모는 올해 약 2억5000만달러로, 2010년에는 7억3000만달러로 확대될 전망이다.
테라세미콘은 300㎜ 반도체 공정 장비 및 디스플레이 공정 장비를 제조하는 매출액 150억원(올해 추정) 규모의 중소기업으로, 일반적인 열처리 및 화학 증착 공정에서 발생하는 원천적인 기술적 한계를 극복하는 열공정 기술을 보유한 장비업체다.
심규호기자@전자신문, khsim@