반도체·디스플레이장비업체인 테라세미콘(대표 장택용 www.terasemicon.co.kr)은 세계 최초로 LCD 및 AM OLED용 비 레이저방식의 LTPS(저온폴리실리콘) 장비를 개발, 대만 주요 LCD업체에 납품하며 상용화에 성공했다고 23일 밝혔다.
이번 개발된 장비는 유리기판 위의 비정질실리콘을 레이저를 사용하지 않고 원자수준의 초박막 금속 촉매를 이용해 증착시켜 결정화하는 것으로, 4세대(730㎜×920㎜)이상 대형 유리기판에 적용할 수 있는 상용 장비가 개발돼 실제 LCD생산공정에 적용된 것은 이 장비가 세계에서 처음이다.
지금까지 소형 유리기판에서는 LTPS를 실현하기 위해 레이저를 사용해 표면의 비정질실리콘을 결정화해 왔다. 그러나 4세대 이상의 대형 유리 기판에서 레이저를 사용하는 기술은 균일도를 확보하기 어렵고 생산성이 저하되며 장비 운영 비용이 커, 양산기술로까지 발전하지 못했다.
이번 테라세미콘이 상용 개발한 비 레이저방식 LTPS장비는 이같은 레이저방식의 한계를 극복한 것으로, 지금까지 소형유리기판에만 적용할 수 있었던 LTPS기술을 대형유리기판으로 확대 적용하면 결과적으로 생산물량을 급격히 확대할 수 있다.
특히 최근 개발완료 단계이거나 양산 준비중인 차세대디스플레이 AM OLED 기술도 LTPS 유리기판 확보가 핵심이어서, AM OLED의 기술적 난제를 일부 해결함으로써 산업 활성화에도 기여할 것으로 기대된다.
테라세미콘 측은 “대만 주요업체에 평가장비를 넣어 이미 평가를 끝냈으며 규모는 밝힐 수 없지만 최근 양산장비를 납품했다”며 “국내 LCD 및 OLED업계들에도 평가장비를 선보여 성능의 우수성을 인정받고 있어 조만간 납품하게 될 것”이라고 밝혔다.
장택용 테라세니콘 사장은 “이번 개발해 수출한 LTPS 양산 장비의 장점은 종래의 기술보다 다결정 실리콘의 입자 균일도를 매우 높게 유지할 수 있고 디스플레이 기판의 요구조건에 따라 결정립의 크기를 넓은 범위에서 조절할 수 있어 5.5세대 이상 초대형으로 확장이 가능한 점”이라며 “이 장비의 상용화로 기존 주류인 레이저방식와 비레이저방식 장비간 치열한 업계 표준화(디펙토 스탠다드) 싸움이 진행될 것”이라고 설명했다.
심규호기자@전자신문, khsim@