위지트(대표 김찬호 www.wizit.co.kr)는 8세대 LCD 증착장비의 핵심 부품인 ‘서셉터(Susceptor·사진)’를 개발했다고 10일 밝혔다.
이번에 개발한 8세대용 서셉터는 고온에서 장시간 사용해도 제품 수명을 유지할 수 있게 하는 열처리 기술, 컴퓨터 시뮬레이션 적용을 통한 시스 히터(sheath heater) 설계기술, 고정밀 전자 광선(E-beam)을 사용한 누출 방지 용접 기술 등이 적용됐다. 또 우수한 내열성과 내식성을 보장하는 양극산화(anodizing) 표면처리 기술도 도입돼 경쟁업체 제품과 차별화할 수 있게 됐다고 위지트 측은 덧붙였다.
김찬호 사장은 “현재 장비반입이 시작된 삼성전자 탕정 8세대 라인이 본격 가동되는 올해 말부터 8세대 증착장비용 서셉터의 수요는 크게 늘어 연간 100억원 규모를 형성할 것”이라고 내다봤다.
한편 서셉터는 LCD 증착 공정에서 증착장비 체임버 내 기판유리가 놓이는 곳으로 위지트는 최근 이 부품을 LCD 증착장비에 장착할 때 사용되는 브레이징 방식(Brazing Type)의 용접 신기술을 국산화한 바 있다.
장지영기자@전자신문, jyajang@